Коркарди CNC барои нимноқилҳо:
Истеҳсоли дақиқ дар қалби инқилоби чипҳо
Саноати нимноқилҳо асоси технологияи муосир аст. Аз смартфонҳо ва ноутбукҳо то системаҳои зеҳни сунъӣ, мошинҳои барқӣ ва дастгоҳҳои пешрафтаи тиббӣ, имрӯз қариб ҳеҷ чиз бе схемаҳои интегралӣ (IC) кор намекунад. Дар асли ин соҳа талаботи бечунучаро ба дақиқии ченшаванда бо микрометрҳо ва ҳатто нанометрҳо ниҳон аст.
Дар ҳоле ки фотолитография, таҳшинкунии плёнкаи тунук ва кандакорӣ дар сархатти хабарҳо ҳангоми сӯҳбат дар бораи истеҳсоли чипҳо қарор доранд, дар паси парда як омили имконпазир, ки аксар вақт кам қадр карда мешавад, вале комилан муҳим аст, вуҷуд дорад: коркарди компютерӣ бо назорати рақамӣ (CNC). Коркарди дақиқи баландсифати CNC ҷузъҳои ултраҳамвор, аз ҷиҳати гармӣ устувор ва аз ҷиҳати геометрӣ комилро истеҳсол мекунад, ки таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳоро имконпазир мегардонанд.
Дар ин мақола меомӯзанд, ки чаро коркарди CNC дар экосистемаи нимноқилҳо ҳатмӣ боқӣ мемонад, кадом ҷузъҳо ба он такя мекунанд, маводҳо ва таҳаммулпазириҳои дахлдор, таҳаввулоти асбобҳо ва равандҳои мошинсозӣ ва мушкилоти оянда ҳангоми ҳаракат ба сӯи истеҳсолоти давраи ангстрем.
Чаро коркарди CNC дар нимноқилҳо муҳим боқӣ мемонад
ТаҷҳизотКорхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо (фабрикаҳо) садҳо асбобҳои коркардро дар бар мегиранд, ки арзиши ҳар яки онҳо аз 10 миллион доллар то беш аз 400 миллион долларро ташкил медиҳад (дар мавриди системаҳои High-NA EUV-и ASML). Қариб ҳар яке аз ин асбобҳо садҳо ё ҳазорҳо қисмҳои дақиқ коркардшударо дар бар мегирад.Сабабҳои асосии иваз кардани пурраи коркарди CNC инҳоянд:
- Мураккабии геометрии аз ҳад зиёд: Бисёре аз ҷузъҳо каналҳои мураккаби хунуккунии дохилӣ, сӯрохиҳои таносуби баланд, деворҳои тунук ва контурҳои мураккаби сеченака доранд, ки бо истифода аз усулҳои рехтагарӣ, оҳангарӣ ё иловаҳои холис истеҳсол карданашон душвор ё ғайриимкон аст.
- Гуногунии мавод: Таҷҳизоти нимноқилӣ аз алюминий, пӯлоди зангногир (300-силсила, 316L, 17-4PH), титан, мис, сафол (Al₂O₃, AlN, SiC), инвар ва суперхӯлаҳо истифода мебарад. CNC метавонад ҳамаи онҳоро коркард кунад.
- Таҳаммулпазирии ултра-зич: Ҳамвории 1-5 µm дар диаметри 450 мм, мавқеи сӯрох ±2 µm, ноҳамвории сатҳ Ra < 0.1 µm ва параллелизм < 2 µm маъмуланд.
- Мутобиқати вакуум ва плазма: Қисмҳо бояд дар плазмаҳои фтор ё хлори хашмгин, вакууми ултрабаланд (10 мбар) ва ҳароратҳо аз -100 °C то >800 °C бе гази зиёдатӣ ё пайдоиши зарраҳо тоб оваранд.
- Таъмир ва барқарорсозӣ: Бисёре аз ҷузъҳо (масалан, барқарорсозии патрони электростатикӣ) такроран коркард, аз нав пӯшонида ва ба кор баргардонида мешаванд — ин давра танҳо бо равандҳои азхудкунӣ имконпазир аст.
Қисмҳои калидӣ, ки аз ҷониби CNC Machining истеҳсол шудаанд
1. Камераҳои вакуумӣ ва чаҳорчӯбаҳои калони сохторӣ
Асбобҳои муосири вафлии 300 мм ва асбобҳои навбунёди 450 мм дорои камераҳои вакуумии алюминий ё пӯлоди зангногир мебошанд, ки метавонанд вазни чанд тонна дошта бошанд, аммо бояд параллелизми девор ва ҳамвории фланҷро то <10 мкм нигоҳ доранд. Ин камераҳо одатан аз оҳанҳои алюминийи 6061-T6 ё плитаҳои пӯлоди зангногири 316L дар осиёбҳои калони 5-меҳварӣ бо роҳнамоҳои гидростатикӣ коркард карда мешаванд.
2. Марҳилаҳои вафли ва марҳилаҳои ретикулӣ
Қалби асбобҳои литографияи EUV ва DUV марҳилаи вафлиест, ки вафлиҳои силиконии 300 мм-ро дар зери оптикаи проексионӣ бо суръатбахшии > 8g ҳаракат медиҳад ва ҳамзамон дақиқии мавқеъро дар сатҳи нанометр нигоҳ медорад. Ин марҳилаҳо васлкуниҳои мураккаби қисмҳои сафолӣ (SiSiC, Zerodur, ULE glass) ё алюминий мебошанд, ки то таҳаммулпазирии зермикрон коркард мешаванд ва сипас бо даст коркард ё бо алмос ба геометрияи ниҳоӣ табдил дода мешаванд.
3. Чакҳои электростатикӣ (ESC)
Патронҳои электростатикӣ пластинаҳоро ҳангоми литография, кандакорӣ ва таҳшинкунӣ комилан ҳамвор нигоҳ медоранд. Сатҳи диэлектрикӣ (одатан сафолии Al2O3 ё AlN, ки ба пойгоҳи алюминий ё молибден пошида мешавад) бояд то ҳамвории қулла то водӣ < 1 мкм дар тӯли 300 мм коркард ва сайқал дода шавад. Худи пойгоҳ ба каналҳои мураккаби хунуккунии дохилӣ ниёз дорад, ки бо фрезеркунии CNC ё сим EDM бо суръати баланд коркард карда мешаванд.
4. Сарпӯшҳои души тақсимкунандаи газ ва ҳалқаҳои канорӣ
Асбобҳои кандакорӣ ва таҳшинкунии плазма аз сарпӯшҳои душ бо ҳазорҳо сӯрохиҳои дақиқ андоза ва ҷойгиршуда (диаметри 50-500 мкм) барои интиқоли газҳои якхелаи коркард истифода мебаранд. Инҳо одатан аз алюминий, кремний ё кварси тозагии баланд коркард мешаванд ва аксар вақт марказҳои коркарди бисёрмеҳварии CNC бо имконоти пармакунии ултрасадоӣ ё лазерӣ истифода мешаванд.
5. Қисмҳо ва васлкунакҳои оптикӣ
Литографияи EUV бо дарозии мавҷи 13.5 нм кор мекунад ва оинаҳои бисёрқабатаи инъикоскунандаи молибден-кремнийро истифода мебарад. Субстратҳои оина (одатан шишаи Zerodur ё ULE) аввал бо роҳи гардиши алмосии якнуқтаӣ ё сайқалдиҳии дақиқ коркарди ноҳамвор анҷом дода мешаванд ва сипас бо роҳи оптикӣ сайқал дода мешаванд. Барои кам кардани таҳрифи гармӣ, васлкунакҳои кинематикӣ бояд аз Invar ё Super Invar бо CNC коркард карда шаванд.
Маводҳое, ки дар коркарди нимноқилҳои CNC истифода мешаванд
1. Хӯлаҳои алюминий
6061-T6 аз сабаби қобилияти аълои коркард, қувваи хуб ва арзиши паст, ҳамчунон асбоби корӣ боқӣ мемонад. Барои сахтии баландтар ва васеъшавии камтари гармӣ, хӯлаҳои алюминийи хусусӣ ба монанди Al 6061-RAM2, RSA-6061 ё Cearun™ (алюминийи бо сафол тақвиятёфта) истифода мешаванд.
2. Хӯлаҳои камвазнӣ
Invar 36 ва Super Invar (бо иловаи кобалт) васеъшавии гармиро <1 ppm/°C пешниҳод мекунанд ва барои ҷузъҳои марҳилаи ретикулӣ ва вафлӣ муҳиманд.
3. Сафол ва айнакҳои техникӣ
- Карбиди кремнийи бо кремний воридшуда (SiSiC)
- Карбиди кремнийи бо реаксия пайвастшуда (RBSC)
- Шишаи васеъшавии ултра-паст Zerodur® (Schott) ва ULE® (Corning)
- Нитриди алюминий (AlN) ва алюминий (Al2O3) барои патрони электростатикӣ
Ин маводҳои шикананда равандҳои махсуси CNC-ро талаб мекунанд: коркарди ултрасадо, суфтакунии режими чандир ё коркарди лазерӣ.
4. Металлҳои тозагии баланд
Молибден, волфрам ва титан барои ҷузъҳое, ки ба плазмаи фтор дучор мешаванд, истифода мешаванд. Ин металлҳои оташгиранда дастгоҳҳои сахт ва моменти баландсифати CNC ва асбобҳои алмосии поликристаллӣ (PCD)-ро талаб мекунанд.
Қисмҳои маъмулии нимноқилҳо, ки бо коркарди CNC сохта шудаанд
қисмати | Маводи маъмулӣ | Талаботҳои асосӣ | Намунаҳои таҳаммулпазирӣ |
|---|---|---|---|
Чакҳои вафли (ESC) | Алюминий, AlN | Ҳамворӣ < 3 µm, Ra < 0.05 µm, ихроҷи гелий < 10⁻⁹ | Мавқеи сӯрохи ±2 µm |
Сарпӯшҳои душ / плитаҳои газӣ | Алюминийи анодшуда, 316L SS | 5000–20,000 сӯрохи Ø0.3–1.0 мм, мавқеи ±5 µm | < Ra 0.4 µm |
Деворҳои камераи вакуумӣ | 6061-T6, 5083 Ал | Кафшер + коркардшуда, гелий герметик | Ҳамворӣ < 50 µm дар болои 2 м |
Маҷмӯаҳои электрод | OFHC мис, молибден | Ноқилияти RF, каналҳои хунуккунӣ | Ҷойгиршавии канал ±10 µm |
Маҷмӯаҳои сӯзанҳои бардоранда | Аз металли зангногир бо пӯшиши сафолӣ | Муқовимат ба фарсудашавӣ, назорати зарраҳо | Консентратсия < 5 µm |
Чаҳорчӯбаҳои сохторӣ (EUV) | Хӯлаҳои Invar 36, ки дорои CTE-и паст мебошанд | Устувории гармӣ <50 ppb/K | Дақиқии мавқеъгирӣ ±15 µm |
Ҳалқаҳои фокусӣ, ҳалқаҳои канорӣ | Кремний, кварс, SiC | Муқовимат ба эрозияи плазма | Таҳаммулпазирии профил ±10 µm |
Андозаи ин қисмҳо аз чанд миллиметр то беш аз 2 метр ва вазнашон аз грамм то чанд тонна аст.
Сатҳҳои дақиқ ва метрология
Таҳаммулпазирии маъмулӣ дар коркарди таҷҳизоти нимноқилӣ:
Фарқияти | Таҳаммулпазирии маъмулӣ | Усули андозагирӣ |
|---|---|---|
Ҳамворӣ (сатҳи 300 мм) | 0.5–2 µm PV | Интерферометрия (Физо, Зиго) |
Параллелизм | 1-5 .m | Сатҳҳои электронӣ + интерферометрия |
Мавқеи сӯрох (ҳазорҳо сӯрох) | ±2–5 мкм | Мошини ченкунии координатӣ (CMM) |
Майдони ангишт | Ра 0.025-0.1 мкм | Интерферометрияи нури сафед |
Мавқеи канали хунуккунӣ | ±10 мкм | Санҷиши компютерӣ ё ултрасадо |
Ҳоло корхонаҳои пешсаф мунтазам дар ҷузъҳои вазни садҳо килограмм ба дақиқии механикии "субмикрон" ё ҳатто "100 нанометр" ноил мегарданд.
Таҳаввулоти асбобҳои CNC барои корҳои нимноқилӣ
1. Давраи солҳои 1990-2000
Осиёбҳои калони гантри (Валдрих Кобург, Парпас, FPT) бо пулакчаҳои Хайденхайн ва бозгардонии пулакчаҳои шишагӣ бартарӣ доштанд. Подшипникҳои гидростатикӣ ва душҳои равғанӣ устувории гармиро таъмин мекарданд.
2. Солҳои 2010: Марҳилаҳои левитатсияи ҳавоӣ ва магнитӣ
Ширкатҳо ба монанди Aerotech, Physik Instrumente (PI) ва ALIO Industries зинаҳои муҳаррики хаттии ҳаводорро бо такрорпазирии <10 нм муаррифӣ карданд. Инҳо ба пояи марказҳои коркарди дақиқи насли дуюм табдил ёфтанд.
3. Ҳолати кунунӣ (2020–2025)
- Мошинҳои гардиши алмосии якнуқтаӣ аз ҷониби нанотехнологияи Мур ва Precitech барои субстратҳои оинаи EUV
- Марказҳои микромеханикии Kern Microtechnik ва Yasda ба дақиқии шакли 100 нм ноил мегарданд
- Силсилаи DMG MORI ULTRASONIC барои керамика
- Fanuc ROBONANO α-NMiA: қарори барномасозии 0.1 нм ва қарори мавқеъгирии 1 нм
- Мағозаҳои бо ҳарорат назоратшаванда дар ±0.01 °C бо таҳкурсии фаъоли изолятсияи ларзиш нигоҳ дошта мешаванд
Мушкилот ва интихоби маводҳо
1. Хӯлаҳои алюминий
6061-T6 ва 5083 аз сабаби қобилияти аълои коркард ва вокуниши анодизатсия хеле хубанд. Анодизатсияи сахт (навъи III) қабати 25-50 мкм Al₂O₃-ро ба вуҷуд меорад, ки ба ҳамлаи плазма муқовимат мекунад. Аммо, микросӯрохиҳо ҳангоми анодизатсия метавонанд зарраҳоро нигоҳ доранд - устохонаҳои муосир мӯҳргузории бисёрқадам ва рӯйпӯшҳои махсусро истифода мебаранд (масалан, дорупошии ду симии арк Al₂O₃ ё дорупошии плазмавии Y₂O₃).
2. Пӯлоди зангногир
316L барои муқовимат ба зангзанӣ ба плазмаҳои NF₃ ва Cl₂ интихоб карда мешавад. Барои кам кардани часпиши зарраҳо, сайқал додани электросайқалдиҳӣ ба Ra < 0.2 µm ҳатмист.
3. Керамикӣ
Алюминий (99.8%), нитриди алюминий ва карбиди кремний дар ҳолати "сабз" бо истифода аз асбобҳои алмосӣ коркард ва сипас синтез карда мешаванд. Таҳаммулпазирӣ пас аз синтез 18-22% кам мешавад, ки моделҳои мураккаби ҷуброни коҳишро талаб мекунанд.
4. Хӯлаҳои CTE-и паст
Invar 36 ва Super Invar дар марҳилаҳои литографияи EUV ва DUV истифода мешаванд, ки дар онҳо устувории нанометрӣ дар ҳароратҳои 10-40 °C талаб карда мешавад.
5. Металлҳои оташгиранда
Молибден ва волфрам барои электродҳои ҳарорати баланд коркард мешаванд. Ин маводҳо хеле абразив мебошанд ва ба мошинҳои сахт бо моеъи хунуккунандаи фишори баланд (70-100 бар) ниёз доранд.
Равандҳои муҳими коркарди мошинҳо
1. Коркарди баландсуръати алюминий (HSM)
SСуръати пин 20,000–42,000 чархзанӣ дар як дақиқа, асбобҳои мутавозини PCD ё алмосии яккристаллӣ, хунуккунии туманӣ ва алгоритмҳои пешнамоиш имкон медиҳанд, ки пардаҳои монанд ба оина (Ra < 4 нм) дар як гузариш ба даст оварда шаванд.
2. Коркарди сафолҳо бо усули чандирӣ
Бо нигоҳ доштани чуқурии буриш дар зери остонаи муҳим (одатан < 1 µm), маводҳои шиканандаро метавон дар ҳолати чандир бо истифода аз асбобҳои алмосии ултратез коркард кард ва сатҳҳои босифати оптикиро бидуни кафидан ба вуҷуд овард.
3. Пардохти алмоси ягона (SPDT)
Барои субстратҳои оинаи асферии EUV муҳим аст. Мошинҳо дар муҳитҳои равғанӣ ё вакуумӣ бо бозгашти зернанометрӣ кор мекунанд.
6.4 EDM-и симӣ ва EDM-и ғалтакдор
Барои каналҳои хунуккунии амиқ ва хусусиятҳои мураккаб дар маводҳои сахтшуда истифода мешавад. Генераторҳои муосир дар як буриши яккарата ба анҷоми рӯй <Ra 0.1 µm ноил мегарданд.
5. Истеҳсоли гибридии иловагӣ + тарҳкунӣ
Тамоюли пайдошаванда: чопи 3D аз Invar ё шаклҳои наздик ба шабакаи титан, сипас коркарди мошин дар ҳамон платформа (масалан, гибридҳои Hermle MPA ё Lasertec DED).
Талабот барои CNC-и дақиқ ва ултра-дақиқӣ
Қисмҳои нимноқилӣ мунтазам талабот доранд:
- Дақиқии мавқеъгирӣ: ±2–5 µm дар масофаи 500–2000 мм
- Такрорпазирӣ: < 1 µm
- Ранги рӯйпӯш: Ra 0.025–0.1 µm дар сатҳҳои плазмавӣ
- Ҳамворӣ: 1–3 µm дар болои Ø300–450 мм
- Параллелизм/перпендикулярӣ: < 3 µm
- Марказҳои коркарди 5-меҳварӣ ё ҳатто 8-меҳварӣ (масалан, Yasda, Makino, DMG MORI, Kern, Liechti)
- Шпинделҳои гидростатикӣ ё ҳавоӣ бо суръати 20,000-60,000 чархзанӣ дар як дақиқа кор мекунанд
- Системаҳои устуворкунии гармӣ, ки ҳарорати мошинро дар ҳудуди ±0.1 °C нигоҳ медоранд
- Асбобҳои зондкунӣ ва танзимкунандаи асбобҳои лазерӣ бо қарори 0.1 µm
- Асосҳои гранитӣ ё полимер-бетон бо изолятсияи фаъоли ларзиш
Lorem ipsum дард менишинад, ва elit adipiscing elit. Иқтидори баланд, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo.
Технологияхои пешкадами коркард
1. Коркарди баландсуръат (HSM) бо асбобҳои хурд
Дар сарпӯшҳои душ метавонанд 15,000 сӯрохии Ø0.5 мм бо 40,000 чархзанӣ дар як дақиқа бо фрезаҳои микронӯги 0.1 мм парма карда шаванд. Пармакунии пек бо моеъи хунуккунандаи 100 барӣ аз кафшери дубораи чипҳо пешгирӣ мекунад.
2. Механизми ултрасадоӣ
Барои сафол ва кварс, ларзиши ултрасадои 20-40 кГц қувваҳои буришро 30-70% кам мекунад, ки ин коркарди сатҳ ва мӯҳлати истифодаи асбобҳоро ба таври назаррас беҳтар мекунад.
3. Пардохти алмоси ягона (SPDT)
Барои линзаҳои инфрасурх ва баъзе электродҳои мисӣ истифода мешавад. Рангҳои рӯизаминӣ то Ra 3-5 нм маъмулӣ мебошанд.
4. Фрезеркунии ҳамзамони 5-меҳварӣ дар геометрияҳои мураккаб
Каналҳои хунуккунии дохилӣ бо диаметри 1 мм ва таносуби паҳлӯии 20:1 бо истифода аз асбобҳои конусшакли дароздастрас ва пайроҳаҳои асбобҳои трохойдалӣ коркард карда мешаванд.
5. Равандҳои илова-тарҳкунии гибридӣ
Баъзе ҷузъҳои нав (масалан, сарпӯшҳои души конформӣ бо хунуккунии конформӣ) тавассути DMLS/LaserCusing дар Inconel ё мис бо усули 3D чоп карда мешаванд ва сипас дар ҳамон дастгоҳ то ±10 µm коркард карда мешаванд.
Метрология ва кафолати сифат
Қисмҳои нимноқилҳо дар ҳама гуна соҳа аз санҷиши сахттарин мегузаранд:
- CMM-ҳои ултра-дақиқи Zeiss Prismo ё Leitz PMM-C бо номуайянии ±0.3 µm
- Интерферометрҳои фазавии тағйирдиҳандаи технологияи Zygo GPI ё 4D барои ҳамворӣ
- Интерферометрҳои рӯшноии сафеди Брукер барои сатҳҳои Ra < 50 нм
- Санҷиши ихроҷи спектрометри массавии гелий то 10⁻¹⁰ мбар·Л/с
- Таҳлили гази боқимонда (RGA) пас аз пухтан дар ҳарорати 150°C барои тасдиқи ихроҷи газ < 10⁻⁹ Торр·л/см²
- Ҳисобкунии зарраҳо тавассути ҳисобкунаки зарраҳои моеъ (LPC) ё сканери зарраҳои лазерӣ пас аз тозакунии ултрасадо
Коркарди утоқи тоза ва коркарди баъдӣ
Азбаски зарраҳои >30 нм метавонанд транзистори 3 нм-ро нобуд кунанд, бисёр устохонаҳои боҳашамат утоқҳои тозакунии ISO 5 (синфи 100) ё ISO 4-ро мустақиман дар атрофи дастгоҳҳои дақиқи худ насб кардаанд.
Мисолҳои зерин:
- Ултрасадои Буллен (ИМА)
- Таҷҳизоти тозакунии CNC Tyrolit (Австрия)
- Утоқи тозакунии коркарди дақиқи Utsunomiya аз Canon (Ҷопон)
- Оби DI бо фишори баланд + ларзиши мегасоникӣ
- Тозакунии бисёрмарҳилавии кимиёвӣ (SC-1, SC-2, пиранья)
- Хушккунаки ултра-тозаи N₂
- Пухтан дар вакуум дар 150-200°C
- Бастабандии дукарата дар халтаҳои бо N₂ тозашуда
Таҳқиқоти мавридӣ: Коркарди табақаи таҳкурсии марҳилаи вафлии EUV
Як табақчаи асосии марҳилаи вафлии EUV-и маъмулии 450 мм мураккабиро нишон медиҳад:
- Мавод: сафолии SiSiC, 900 × 800 × 100 мм
- Талаботи ҳамворӣ: < 1 µm PV дар тамоми сатҳ
- 120 канали хунуккунии дарунсохт, диаметри 3 мм, мавқеи ±15 µm
- 600 вурудоти риштадор (M4-helium-light)
- Сатҳи ниҳоӣ: то Ra < 50 нм пӯшонида шудааст
- Коркарди сабзи бланкаи бо реаксия пайвастшуда
- Инфилтратсияи кремний ва коркарди гармӣ
- Суфтакунии дағалона дар маркази коркарди 5-меҳварӣ
- Суфтакунии ниҳоӣ бо режими чандирӣ бо чуқурии 1 µm
- Пардозиши магнитореологӣ (MRF) барои ислоҳи шакли ниҳоӣ
- Метрология дар Zygo VeriFire MST 600 мм интерферометри диафрагма
- Агар лозим бошад, ламскунии ниҳоии дастӣ
Мушкилот ҳангоми гузаштан ба гиреҳҳои зер2 нм
1. Устувории сатҳи ангстрем
Асбобҳои ояндаи EUV бо NA-и баланд устувории ҷойгиркунии марҳиларо дар диапазони 50-100 пикометр талаб мекунанд. Ин ҷузъҳои механикиро ба маҳдудиятҳои асосии мавод тела медиҳад.
2. Гузариши 450 мм
Вафлиҳои калонтар қисмҳои боз ҳам калонтари коркардшударо бо ҳамон дақиқии нисбӣ талаб мекунанд - афзоиши экспоненсиалии душворӣ.
3. Маводҳои нав
Маводҳои карбонӣ (рӯйпӯшҳои графенӣ, карбони монанд ба алмос), композитҳои матритсавии металлӣ ва сохторҳои фотонӣ ба парадигмаҳои комилан нави коркард ниёз доранд.
4. Устувор
Саноат таҳти фишор қарор дорад, ки истеъмоли энергия, об ва маводи кимиёвиро кам кунад. Корхонаҳои коркарди мошинҳо равғани миқдори кам (MQL), хунуккунии криогенӣ ва коркарди дубораи пораҳои алюминийро ҷорӣ мекунанд.
хулоса
Гарчанде ки дар хабарҳои нимноқилӣ диққати асосӣ мавҷи литография ва зичии транзисторҳо боқӣ мемонад, воқеият ин аст, ки ҳеҷ як чипи пешрафтаро бе артиши ҷузъҳои механикии ултра-дақиқ, ки бо коркарди CNC истеҳсол мешаванд, истеҳсол кардан мумкин нест. Аз камераҳои вакуумии бисёртоннагӣ то микрон то марҳилаҳои вафери керамикӣ, ки ба чанд атом устуворанд, коркарди CNC дар сарҳади мутлақи он чизе, ки аз ҷиҳати механикӣ имконпазир аст, кор мекунад.
Ҳангоме ки саноат ба самти хусусиятҳои ангстрем ва пластинаҳои 450 мм мешитобад, талабот ба коркарди дақиқ танҳо афзоиш хоҳад ёфт. Корхонаҳое, ки метавонанд дақиқии зермикронро дар қисмҳои миқёси метрӣ, дар маводҳои экзотикӣ, дар шароити тозаи ҳуҷра таъмин кунанд, шарикони ивазнашавандаи ASML, Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron ва худи истеҳсолкунандагони чипҳо боқӣ хоҳанд монд.
Дар ниҳоят, Қонуни машҳури Мур на танҳо достони физика ва химия аст, балки он инчунин пирӯзии муҳандисии механикӣ аст, ки дар як вақт як ҷузъи комилан коркардшударо иҷро мекунад.