د سیمیکمډکټرونو لپاره د CNC ماشین کول:
د چپ انقلاب په زړه کې دقیق تولید
د نیمه کاره صنعت د عصري ټیکنالوژۍ بنسټ دی. له سمارټ فونونو او لیپټاپونو څخه تر مصنوعي استخباراتو سیسټمونو، بریښنایی موټرو او پرمختللي طبي وسایلو پورې، نن ورځ تقریبا هیڅ شی د مدغم سرکټونو (ICs) پرته کار نه کوي. د دې صنعت په زړه کې د مایکرو میټرونو او حتی نانو میټرونو کې اندازه شوي دقت لپاره یوه نه جوړجاړی کونکې غوښتنه ده.
پداسې حال کې چې کله خلک د چپ جوړولو په اړه خبرې کوي، فوتولیتوګرافي، د پتلي فلم زیرمه کول، او ایچینګ د سرلیکونو غالب وي، یو چې ډیری وختونه کم تعریف شوی مګر په بشپړ ډول مهم فعالونکی د پردې تر شا شتون لري: د کمپیوټر عددي کنټرول (CNC) ماشین کول. د لوړ دقت CNC ماشین کول خورا فلیټ، تودوخې مستحکم، او په هندسي ډول بشپړ اجزا تولیدوي چې د سیمیکمډکټر تولید تجهیزات ممکن کوي.
دا مقاله په دې اړه بحث کوي چې ولې د CNC ماشین کول په سیمیکمډکټر ایکوسیستم کې لازمي پاتې کیږي، کوم اجزا پرې تکیه کوي، کوم مواد او زغم پکې شامل دي، د ماشین وسیلو او پروسو ارتقا، او راتلونکي ننګونې لکه څنګه چې صنعت د انګسټروم دورې تولید ته حرکت کوي.
ولې د CNC ماشین کول په سیمیکمډکټر کې اړین دي؟
تجهیزاتد سیمیکمډکټر جوړولو فابریکې (فابریکې) په سلګونو د پروسس وسایل لري، چې هر یو یې له ۱۰ ملیون ډالرو څخه تر ۴۰۰ ملیون ډالرو پورې لګښت لري (د ASML د لوړ-NA EUV سیسټمونو په صورت کې). نږدې هر یو یې په سلګونو یا زرګونو دقیق ماشین شوي برخې لري.مهم دلیلونه چې ولې د CNC ماشینونه په بشپړ ډول بدل نشي کیدی:
- خورا جیومیټریک پیچلتیا: ډیری اجزا پیچلي داخلي یخولو چینلونه، د لوړ اړخ تناسب سوري، نري دیوالونه، او پیچلي 3D شکلونه لري چې د کاسټ کولو، جعل کولو، یا خالص اضافه کولو میتودونو سره تولید کول ستونزمن یا ناممکن دي.
- د موادو تنوع: د سیمیکمډکټر تجهیزات المونیم، سټینلیس سټیل (300 لړۍ، 316L، 17-4PH)، ټایټانیوم، مس، سیرامیک (Al₂O₃، AlN، SiC)، invar، او سوپر الیاژ کاروي. CNC کولی شي دا ټول اداره کړي.
- د زغملو ډېر سختوالی: د ۴۵۰ ملي مترو په قطر کې د ۱-۵ µm پلنوالی، د سوري موقعیت ±۲ µm، د سطحې ناهمواروالی Ra < ۰.۱ µm، او موازي والی < ۲ µm عام دي.
- د خلا او پلازما مطابقت: برخې باید د تیریدونکي فلورین یا کلورین پلازما، خورا لوړ خلا (10⁻⁹ mbar)، او د -100 °C څخه تر 800 °C پورې تودوخې پرته له ګاز یا ذراتو تولید څخه ژوندي پاتې شي.
- ترمیم او بیا رغونه: ډیری برخې (د بیلګې په توګه، د الکتروسټاتیک چک بیا رغونه) په مکرر ډول ماشین کیږي، بیا پوښل کیږي، او بیرته خدمت ته راستنیږي - یوه دوره چې یوازې د فرعي پروسو سره ممکنه ده.
د CNC ماشین لخوا جوړ شوي کلیدي برخې
۱. د ویکیوم چیمبرونه او لوی ساختماني چوکاټونه
عصري 300 ملي میتر او راڅرګندیدونکي 450 ملي میتر ویفر وسایل د المونیم یا سټینلیس سټیل ویکیوم چیمبرونه لري چې څو ټنه وزن کولی شي مګر باید د دیوال موازيتوب او فلانج فلیټنس تر 10 µm پورې وساتي. دا چیمبرونه معمولا د 6061-T6 المونیم فورجینګونو یا 316L سټینلیس سټیل پلیټونو څخه د هایدروسټاټیک لارښودونو سره په لویو 5 محور ګینټري ملونو کې ماشین کیږي.
۲. د ویفر مرحلې او ریټیکل مرحلې
د EUV او DUV لیتوګرافي وسیلو زړه د ویفر مرحله ده چې د پروجیکشن آپټیکس لاندې 300 ملي میتر سیلیکون ویفرونه د 8g څخه ډیر سرعت سره حرکت کوي پداسې حال کې چې د نانومیټر کچې موقعیت دقت ساتي. دا مرحلې د سیرامیک (SiSiC، زیروډور، ULE شیشې) یا المونیم برخو پیچلي اسمبلۍ دي چې د فرعي مایکرون زغم سره ماشین شوي او بیا په لاسي ډول لیپ شوي یا د الماس په واسطه وروستي جیومیټري ته اړول شوي.
۳. الیکټروسټاټیک چکونه (ESC)
الیکټروسټاټیک چکونه د لیتوګرافي، ایچنګ او ډیپوزیشن په جریان کې ویفرونه په بشپړ ډول فلیټ ساتي. ډایالټریک سطح (معمولا Al2O3 یا AlN سیرامیک په المونیم یا مولیبډینم اساس باندې سپریږي) باید ماشین او پالش شي ترڅو د 300 ملي میتر په اوږدو کې د 1 µm څخه کم چوکۍ څخه تر درې پورې فلیټ وي. اساس پخپله پیچلي داخلي یخولو چینلونو ته اړتیا لري چې د لوړ سرعت CNC ملنګ یا تار EDM لخوا ماشین شوي وي.
۴. د ګازو د ویش شاور سرونه او د څنډې حلقې
د پلازما ایچ او ډیپوزیشن وسایل د زرګونو دقیق اندازې او موقعیت لرونکي سوري (50-500 µm قطر) سره د شاور هیډونو څخه کار اخلي ترڅو د یونیفورم پروسس ګازونه وړاندې کړي. دا معمولا د لوړ پاکوالي المونیم، سیلیکون، یا کوارټز څخه ماشین شوي، ډیری وختونه د الټراسونک یا لیزر په مرسته د برمه کولو وړتیاو سره د څو محور CNC ماشین کولو مرکزونو څخه کار اخلي.
۵. نظري اجزا او ماونټونه
د EUV لیتوګرافي په 13.5 nm طول موج کې کار کوي او د منعکس کونکي مولیبډینم-سیلیکون څو پوړیز عکسونه کاروي. د عکس سبسټریټونه (معمولا زیروډور یا ULE شیشه) لومړی د واحد نقطې الماس بدلولو یا دقیق پیس کولو لخوا خام ماشین کیږي، بیا په نظري ډول پالش کیږي. هغه کینیماتیک ماونټونه چې دا عکسونه ساتي باید د انور یا سوپر انور څخه CNC ماشین شي ترڅو د تودوخې تحریف کم کړي.
هغه مواد چې په سیمیکمډکټر CNC ماشین کې کارول کیږي
۱. د المونیم الیاژونه
۶۰۶۱-T۶ د غوره ماشین وړتیا، ښه ځواک، او ټیټ لګښت له امله د کار هارس پاتې دی. د لوړ سختۍ او ټیټ حرارتي پراختیا لپاره، د ملکیت المونیم الیاژونه لکه Al 6061-RAM2، RSA-6061، یا Cearun™ (سیرامیک-پیاوړی شوی المونیم) کارول کیږي.
۲. د ټیټ پراخوالي الیاژونه
انور ۳۶ او سوپر انور (د کوبالټ اضافه کولو سره) د ۱ ppm/°C څخه کم حرارتي توسع وړاندې کوي او د ریټیکل او ویفر مرحلې اجزاو لپاره خورا مهم دي.
۳. سیرامیک او تخنیکي عینکې
- د سیلیکون نفوذ لرونکی سیلیکون کاربایډ (SiSiC)
- د تعامل سره تړلی سیلیکون کاربایډ (RBSC)
- زیروډور® (Schott) او ULE® (Corning) د الټرا ټیټ انسپریشن شیشه
- د الکتروسټاتیک چکونو لپاره المونیم نایټرایډ (AlN) او المونیم (Al2O3)
دا ماتیدونکي مواد د CNC ځانګړو پروسو ته اړتیا لري: الټراسونیک ماشینینګ، ډیکټائل-ریجیم ګرینډینګ، یا د لیزر په مرسته ماشینینګ.
۴. لوړ پاکوالي لرونکي فلزات
مولیبډینم، ټنګسټن او ټایټانیوم د هغو اجزاو لپاره کارول کیږي چې د فلورین پلازما سره مخ کیږي. دا انعطاف منونکي فلزات سخت، لوړ تورک CNC ماشینونو او پولی کریسټالین الماس (PCD) اوزارونو ته اړتیا لري.
د CNC ماشین کولو لخوا جوړ شوي عادي سیمیکمډکټر اجزا
برخه | عادي مواد | مهمې اړتیاوې | د زغم مثالونه |
|---|---|---|---|
ویفر چکونه (ESC) | الومینا، AlN | پلنوالی < 3 µm، Ra < 0.05 µm، د هیلیم لیک < 10⁻⁹ | د سوري موقعیت ±2 µm |
د شاور سرونه / د ګاز پلیټونه | انوډیز شوی ال، ۳۱۶ لیټره ایس ایس | ۵۰۰۰-۲۰،۰۰۰ سوري Ø۰.۳–۱.۰ ملي متره، ±۵ µm موقعیت | <را 0.4 µm |
د ویکیوم چیمبر دیوالونه | ۶۰۶۱-T۶، ۵۰۸۳ ال | ویلډ شوی + ماشین شوی، د هیلیم لیک بند | هواروالی < 50 µm د 2 مترو په اوږدو کې |
د الکترود اسمبلۍ | د OFHC مسو، مولیبډینم | د RF چالکتیا، د یخولو چینلونه | د چینل موقعیت ±۱۰ µm |
د لفټ پن اسمبلۍ | د سیرامیک پوښل شوی سټینلیس | د اغوستلو مقاومت، د ذراتو کنټرول | متمرکزیت < 5 µm |
ساختماني چوکاټونه (EUV) | انور ۳۶، د ټیټ CTE الیاژونه | د تودوخې ثبات < 50 ppb/K | د موقعیت دقت ±۱۵ µm |
د تمرکز حلقې، د څنډې حلقې | سیلیکون، کوارټز، SiC | د پلازما تخریب مقاومت | د پروفایل زغم ±10 µm |
دا برخې د څو ملي مترو څخه تر دوه مترو پورې اندازې او د ګرام څخه تر څو ټنو پورې وزن لري.
دقت کچه او میټرولوژي
د سیمیکمډکټر تجهیزاتو ماشین کولو کې عادي زغم:
فیچر | عادي زغم | د اندازه کولو طریقه |
|---|---|---|
هواروالی (۳۰۰ ملي متره سطحه) | ۰.۵–۲ µm PV | انټرفیرومیټري (فیزیو، زیګو) |
موازي کول | 1–5 m | الکترونیکي کچې + انټرفیرومیټري |
د سوري موقعیت (زرګونه سوري) | ±۲–۵ µm | د همغږۍ اندازه کولو ماشین (CMM) |
د سطحې پای | Ra 0.025–0.1 µm | د سپینې رڼا انټرفیرومیټري |
د یخولو چینل موقعیت | ±10 µm | د سي ټي سکیننګ یا الټراسونیک ازموینه |
مخکښ دوکانونه اوس په منظم ډول د سلګونو کیلوګرامه وزن لرونکو اجزاو په اړه "فرعي مایکرون" یا حتی "۱۰۰ نانومیټر" میخانیکي دقت ترلاسه کوي.
د سیمیکمډکټر کار لپاره د CNC ماشین وسیلو ارتقا
۱. د ۱۹۹۰ – ۲۰۰۰ کلونو دوره
د هایډنهاین ترازو او شیشې ترازو فیډبیک سره لوی ګینټري کارخانې (والډریچ کوبورګ، پارپاس، FPT) غالبې وې. د هایدروسټاټیک بیرنگونو او د تیلو شاورونو حرارتي ثبات چمتو کړ.
۲. د ۲۰۱۰ لسیزه: د هوا د وړلو او مقناطیسي لیویټیشن مرحلې
شرکتونو لکه ایروټیک، فزیک انسټرومینټ (PI)، او ALIO انډسټریز د 10 nm څخه کم تکرار وړتیا سره د هوا لرونکي خطي موټرو مرحلې معرفي کړې. دا د دوهم نسل دقیق ماشین کولو مرکزونو ملا تیر شول.
۳. اوسنی حالت (۲۰۲۰-۲۰۲۵)
- د EUV عکس سبسټریټونو لپاره د مور نانو ټیکنالوژي او پریسیتیک واحد نقطه الماس بدلولو ماشینونه
- د کرن مایکروټیکنیک او یاسدا مایکرو ماشینینګ مرکزونه د 100 نانومیټره فورمه دقت ترلاسه کوي
- د سیرامیک لپاره د DMG موري الټراسونیک لړۍ
- فانوک روبونانو α-NMiA: د 0.1 nm پروګرام کولو ریزولوشن او د 1 nm موقعیت ریزولوشن
- د تودوخې کنټرول شوي دوکانونه د فعال کمپن جلا کولو بنسټونو سره په ±0.01 °C کې ساتل شوي
د موادو ننګونې او انتخاب
1. د المونیم الیاژ
۶۰۶۱-T۶ او ۵۰۸۳ د غوره ماشین وړتیا او انوډیزیشن غبرګون له امله د کار هارسونه دي. سخت انوډیزیشن (ډول III) د ۲۵-۵۰ µm Al₂O₃ طبقه رامینځته کوي چې د پلازما برید مقاومت کوي. په هرصورت، په انوډیزیشن کې مایکروپورونه کولی شي ذرات بند کړي - عصري دوکانونه د څو مرحلو سیل کولو او ملکیتي کوټینګونو څخه کار اخلي (د بیلګې په توګه، د دوه ګوني تار آرک سپری Al₂O₃ یا Y₂O₃ پلازما سپری).
۱. د زنګ وهلو فولادو
۳۱۶L د NF₃ او Cl₂ پلازما په وړاندې د زنګ وهلو مقاومت لپاره غوره شوی. د ذراتو د چپکولو کمولو لپاره د Ra < 0.2 µm ته الکتروپولش کول لازمي دي.
3. سرامیک
المونیم (۹۹.۸٪)، المونیم نایټرایډ، او سیلیکون کاربایډ د الماس وسیلو په کارولو سره په "شنه" حالت کې ماشین کیږي، بیا سینټر کیږي. د سینټر کولو وروسته زغم ۱۸-۲۲٪ کمیږي، چې د پیچلي انقباض جبران ماډلونو ته اړتیا لري.
۴. د ټیټ CTE الیاژونه
انوار ۳۶ او سوپر انوار د EUV او DUV لیتوګرافي مرحلو کې کارول کیږي چیرې چې د ۱۰-۴۰ درجو سانتي ګراد د تودوخې بدلونونو کې د نانومیټر ثبات ته اړتیا وي.
۵. انعکاسي فلزات
مولیبډینم او ټنګسټن د لوړ تودوخې الکترودونو لپاره ماشین شوي دي. دا مواد خورا ډیر کثافات دي او د لوړ فشار یخولو (70-100 بار) سره سخت ماشینونو ته اړتیا لري.
د ماشین کولو مهمې پروسې
۱. د المونیم لوړ سرعت ماشینینګ (HSM)
د ایس پنډل سرعت 20,000–42,000 rpm، متوازن PCD یا واحد کرسټال الماس وسیلې، د دوړې یخ کول، او د لید الګوریتمونه په یوه پاس کې د عکس په څیر پای ته رسیدو (Ra < 4 nm) ته اجازه ورکوي.
۲. د سیرامیکونو د ډیکټائل رژیم ماشین کول
د قطع کولو ژوروالی د یوې مهمې حد څخه ښکته ساتلو سره (معمولا < 1 µm)، ماتیدونکي مواد د الټرا تیز الماس وسیلو په کارولو سره په نل حالت کې ماشین کیدی شي، پرته له درز څخه د نظری کیفیت لرونکي سطحې تولیدوي.
3. واحد نقطه الماس بدلول (SPDT)
د اسفیریک EUV عکس سبسټریټونو لپاره اړین دی. ماشینونه د تیلو په غبار یا ویکیوم چاپیریال کې د فرعي نانومیټر فیډبیک سره کار کوي.
۶.۴ وایر EDM او سنکر EDM
د ژورو یخولو چینلونو او په سختو موادو کې د پیچلو ځانګړتیاو لپاره کارول کیږي. عصري جنراتورونه د سطحې پای ترلاسه کوي <Ra 0.1 µm په یوه واحد سکیم کټ کې.
۵. اضافه + تخفیفي هایبرډ تولید
راڅرګندیدونکی رجحان: د 3D-چاپ انور یا ټایټانیوم نږدې خالص شکلونه، بیا په ورته پلیټ فارم کې پای ماشین (د مثال په توګه، هرمل MPA یا لیزرټیک DED هایبرډونه).
دقت او الټرا-پریسیژن CNC اړتیاوې
د سیمیکمډکټر برخې معمولا غوښتنه کوي:
- د موقعیت دقت: ±2–5 µm د 500–2000 ملي میتر سفر څخه ډیر
- د تکرار وړتیا: < 1 µm
- د سطحې پای: په پلازما مخامخ سطحو کې Ra 0.025–0.1 µm
- هواروالی: ۱–۳ µm د Ø۳۰۰–۴۵۰ ملي میتر څخه پورته
- موازي/عمودي: < 3 µm
- ۵ محوره یا حتی ۸ محوره ماشیني مرکزونه (د مثال په توګه، یاسدا، ماکینو، DMG موري، کیرن، لیچټي)
- هایدروسټاټیک یا د هوا بار وړونکي سپینډلونه چې په 20,000-60,000 rpm کې چلیږي
- د تودوخې ثبات سیسټمونه چې د ماشین تودوخه د ±0.1 °C دننه ساتي
- په ماشین کې د پروبینګ او لیزر وسیلې تنظیم کونکي د 0.1 µm ریزولوشن سره
- د فعال وایبریشن انزوا سره ګرانایټ یا پولیمر-کانکریټ اساسات
د لاریم ایپسسم ډیلور سیټ امیټ ، کلینټور اډیپیسینګ ایلیټ. یوټ ایلټ ټیلوس ، لوکټس نییک الالمکارپر میټیس ، پلویرار ډاپبس لیو.
د ماشین کولو پرمختللي تخنیکونه
۱. د کوچنیو وسایلو سره د لوړ سرعت ماشینینګ (HSM)
د شاور سرونه ممکن د 0.1 ملي میتر مایکرو پای ملونو سره په 40,000 rpm کې د Ø0.5 ملي میتر 15,000 سوري ولري. د 100 بار له لارې د وسیلې کولنټ سره د پیک ډرل کول د چپ بیا ویلډینګ مخه نیسي.
۶. د الټراسونک په مرسته ماشین کول
د سیرامیک او کوارټز لپاره، د 20-40 kHz الټراسونیک وایبریشن د پرې کولو ځواک 30-70٪ کموي، په ډراماتیک ډول د سطحې پای او د وسیلې ژوند ښه کوي.
3. واحد نقطه الماس بدلول (SPDT)
د انفراریډ لینزونو او ځینې مسو الکترودونو لپاره کارول کیږي. د سطحې پایونه تر Ra 3-5 nm پورې معمول دي.
۴. د پیچلو جیومیټریونو ۵-محورونه په ورته وخت کې مل کول
د ۱ ملي میتر قطر او ۲۰:۱ اړخ تناسب سره داخلي سړونکي چینلونه د اوږد رسی لرونکي ټاپر شوي وسیلو او ټروکوایډل وسیلو په کارولو سره ماشین کیږي.
۵. د هایبرډ اضافه کولو او کمولو پروسې
ځینې نوي اجزا (د مثال په توګه، د کانفورمل یخ شوي شاور هیډونه) د DMLS/LaserCusing له لارې په انکونیل یا مسو کې 3D چاپ شوي، بیا په ورته ماشین کې تر ±10 µm پورې پای ته رسیږي.
میټرولوژي او د کیفیت تضمین
د سیمیکمډکټر برخې په هر صنعت کې ترټولو سخت تفتیش کیږي:
- د زیس پریزمو یا لیټز PMM-C الټرا-پریسیژن CMMs د ±0.3 µm ناڅرګندتیا سره
- د زایګو GPI یا 4D ټیکنالوژۍ د مرحلې بدلون انټرفیرومیټرونه د فلیټنس لپاره
- د Ra < 50 nm سطحو لپاره د بروکر سپین رڼا انټرفیرومیټرونه
- د هیلیم ماس سپیکٹرومیټر لیک ازموینه تر 10⁻¹⁰ mbar·L/s پورې
- د ګازو د پاتې شونو تحلیل (RGA) د ۱۵۰ درجو سانتي ګراد په تودوخه کې د ۱۰ څخه کم تور·لیتر/سیکنډ/سانتي متره څخه د وتلو تایید لپاره
- د الټراسونیک پاکولو وروسته د مایع ذراتو کاونټر (LPC) یا لیزر ذراتو سکینر له لارې د ذراتو شمیرنه
د پاکې خونې ماشین کول او وروسته پروسس کول
ځکه چې د 30 nm څخه زیات ذرات کولی شي د 3 nm ټرانزیسټر ووژني، ډیری لوړ پوړو هټیو د خپلو دقیق ماشینونو شاوخوا مستقیم ISO 5 (کلاس 100) یا ISO 4 پاک خونې نصب کړې دي.
مثالونه په لاندې ډول دي:
- بولن الټراسونکس (امریکا)
- د ټایرولیت CNC د پاکولو خونه (اتریش)
- د کینن د اتسونومیا دقیق ماشین کولو پاک خونه (جاپان)
- د لوړ فشار DI اوبه + میګاسونیک حرکت
- څو مرحلې کیمیاوي پاکول (SC-1، SC-2، پیرانها)
- ډېر خالص N₂ وچونکی
- د ۱۵۰-۲۰۰ درجو سانتي ګراد په ویکیوم بیکینګ
- په N₂ پاکو شویو کڅوړو کې دوه ځله بسته بندي کول
د قضیې مطالعه: د EUV ویفر سټیج بیس پلیټ ماشین کول
یو عادي ۴۵۰ ملي متره EUV ویفر سټیج بیس پلیټ پیچلتیا ښیې:
- مواد: SiSiC سیرامیک، 900 × 800 × 100 ملي میتر
- د فلیټ کیدو اړتیا: په ټوله سطحه کې < 1 µm PV
- ۱۲۰ سرایت شوي یخولو چینلونه، ۳ ملي متره قطر، ±۱۵ µm موقعیت
- ۶۰۰ تار لرونکي داخلونه (M4 هیلیم رڼا)
- وروستۍ سطحه: د Ra < 50 nm ته پورته شوې
- د غبرګون سره تړلي خالي شنه ماشین کول
- د سیلیکون نفوذ او د تودوخې درملنه
- د پنځه محوري ماشین کولو مرکز کې سخت پیس کول
- د 1 µm ژوروالي سره د ډوکټائل رژیم پای پیس کول
- د وروستي شکل اصلاح لپاره مقناطیسي پای (MRF)
- په زایګو ویری فایر MST 600 ملي میتر اپرچر انټرفیرومیټر کې میټرولوژي
- که اړتیا وي، وروستی لاسي لپ کول
ننګونې لکه څنګه چې صنعت د فرعي 2 nm نوډونو ته ځي
۱. د انګسټروم په کچه ثبات
راتلونکي EUV لوړ-NA وسایل به د 50-100 پیکومیټر رینج کې د سټیج موقعیت ثبات ته اړتیا ولري. دا میخانیکي اجزا د اساسي موادو محدودیتونو ته اړوي.
۲. ۴۵۰ ملي متره لیږد
لوی ویفرونه د ورته نسبي دقت سره حتی لوی ماشین شوي اجزاو ته اړتیا لري - په مشکل کې یو ناڅاپي زیاتوالی.
۳. نوي مواد
د کاربن پر بنسټ مواد (ګرافین پوښونه، د الماس په څیر کاربن)، د فلزي میټریکس مرکبات، او فوټونیک جوړښتونه به په بشپړ ډول نوي ماشینینګ پاراډایمونو ته اړتیا ولري.
4. دوام
صنعت د انرژۍ، اوبو او کیمیاوي موادو د مصرف کمولو لپاره تر فشار لاندې دی. د ماشینونو دوکانونه د لږترلږه مقدار غوړولو (MQL)، کریوجینک یخولو، او د المونیم چپسونو بیا کارول غوره کوي.
پایله
پداسې حال کې چې د سیمیکمډکټر خبرونو کې د لیتوګرافي طول موج او ټرانزیسټر کثافت باندې تمرکز پاتې دی، حقیقت دا دی چې هیڅ مخکښ چپ د CNC ماشین کولو لخوا تولید شوي خورا دقیق میخانیکي اجزاو لښکر پرته نشي تولید کیدی. د څو ټنو ویکیوم چیمبرونو فلیټ څخه تر مایکرون پورې د سیرامیک ویفر مرحلو پورې مستحکم او څو اتومونو پورې، د CNC ماشین کول د هغه څه په مطلق سرحد کې کار کوي چې میخانیکي پلوه ممکن دي.
لکه څنګه چې صنعت د انګسټروم پیمانه ځانګړتیاو او 450 ملي میتر ویفرونو په لور منډې وهي، د دقیق ماشین کولو غوښتنې به یوازې شدت ومومي. هغه دوکانونه چې کولی شي د میټر پیمانه برخو کې فرعي مایکرون دقت وړاندې کړي، په بهرني موادو کې، د پاک خونې شرایطو لاندې، به د ASML، تطبیق شوي موادو، لام څیړنې، ټوکیو الیکټرون، او پخپله د چپ جوړونکو لپاره لازمي شریکان پاتې شي.
په پای کې، د مور مشهور قانون یوازې د فزیک او کیمیا کیسه نه ده - دا د میخانیکي انجینرۍ بریا هم ده چې په یو وخت کې یو بشپړ ماشین شوی جز اجرا شوی.