ເຄື່ອງຈັກ CNC ສຳລັບອຸດສາຫະກຳທີ່ແຕກຕ່າງກັນ
ເຕັກໂນໂລຊີເຄື່ອງຈັກ CNC ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳເຕັກໂນໂລຢີສູງ

ເຄື່ອງຈັກ CNC ສຳລັບເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ:
ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນຫົວໃຈຂອງການປະຕິວັດຊິບ

ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນພື້ນຖານຂອງເທັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ. ຕັ້ງແຕ່ໂທລະສັບສະຫຼາດ ແລະ ຄອມພິວເຕີໂນດບຸກ ຈົນເຖິງລະບົບປັນຍາປະດິດ, ພາຫະນະໄຟຟ້າ ແລະ ອຸປະກອນການແພດທີ່ກ້າວໜ້າ, ເກືອບບໍ່ມີຫຍັງເຮັດວຽກໄດ້ໃນປະຈຸບັນໂດຍບໍ່ມີວົງຈອນປະສົມປະສານ (ICs). ແກ່ນແທ້ຂອງອຸດສາຫະກຳນີ້ແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ບໍ່ປະນີປະນອມສຳລັບຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ວັດແທກໃນໄມໂຄຣແມັດ ແລະ ແມ່ນແຕ່ນາໂນແມັດ.
 
ໃນຂະນະທີ່ການພິມດ້ວຍແສງ, ການເຄືອບຟິມບາງ, ແລະ ການແກະສະຫຼັກ ຄອບງຳຫົວຂໍ້ຂ່າວເມື່ອຄົນເວົ້າກ່ຽວກັບການຜະລິດຊິບ, ປັດໄຈສຳຄັນທີ່ມັກບໍ່ໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມຫຼາຍແຕ່ມີຄວາມສຳຄັນຢ່າງແທ້ຈິງແມ່ນຢູ່ເບື້ອງຫຼັງ: ການຄວບຄຸມຕົວເລກຄອມພິວເຕີ (CNC). ເຄື່ອງຈັກ CNC ຄວາມແມ່ນຍຳສູງຜະລິດອົງປະກອບທີ່ຮາບພຽງ, ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ສົມບູນແບບທາງເລຂາຄະນິດທີ່ເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳເປັນໄປໄດ້.
 
ບົດຄວາມນີ້ສຳຫຼວດວ່າເປັນຫຍັງເຄື່ອງຈັກ CNC ຈຶ່ງຍັງຂາດບໍ່ໄດ້ໃນລະບົບນິເວດເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊິ່ງອົງປະກອບໃດທີ່ອີງໃສ່ມັນ, ວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມທົນທານທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ວິວັດທະນາການຂອງເຄື່ອງມືເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂະບວນການ, ແລະ ສິ່ງທ້າທາຍໃນອະນາຄົດ ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳກ້າວໄປສູ່ການຜະລິດໃນຍຸກ angstrom.

ສາ​ລະ​ບານ

ເປັນຫຍັງເຄື່ອງຈັກ CNC ຈຶ່ງຍັງຄົງມີຄວາມສຳຄັນໃນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ

ອຸປະກອນໂຮງງານຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ (fabs) ມີເຄື່ອງມືຂະບວນການຫຼາຍຮ້ອຍອັນ, ແຕ່ລະອັນມີລາຄາຕັ້ງແຕ່ 10 ລ້ານໂດລາຫາຫຼາຍກວ່າ 400 ລ້ານໂດລາ (ໃນກໍລະນີຂອງລະບົບ High-NA EUV ຂອງ ASML). ເກືອບທຸກໆເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ມີຊິ້ນສ່ວນເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຫຼາຍຮ້ອຍຫຼືຫຼາຍພັນຊິ້ນ.ເຫດຜົນຫຼັກທີ່ເຄື່ອງຈັກ CNC ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ຢ່າງສົມບູນ:
  • ຄວາມຊັບຊ້ອນທາງເລຂາຄະນິດທີ່ຮຸນແຮງ: ອົງປະກອບຫຼາຍຢ່າງມີຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນພາຍໃນທີ່ສັບສົນ, ຮູທີ່ມີອັດຕາສ່ວນສູງ, ກຳແພງບາງໆ, ແລະຮູບຊົງ 3D ທີ່ສັບສົນ ເຊິ່ງຍາກ ຫຼື ເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະຜະລິດດ້ວຍວິທີການຫລໍ່, ການຕີ, ຫຼື ວິທີການເພີ່ມເຕີມທີ່ບໍລິສຸດ.
  • ຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງວັດສະດຸ: ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳໃຊ້ອາລູມີນຽມ, ເຫຼັກສະແຕນເລດ (ຊຸດ 300, 316L, 17-4PH), ທາດໄທທານຽມ, ທອງແດງ, ເຊລາມິກ (Al₂O₃, AlN, SiC), ອິນວາ, ແລະ ຊຸບເປີໂລຫະປະສົມ. CNC ສາມາດຮັບມືກັບພວກມັນໄດ້ທັງໝົດ.
  • ຄວາມທົນທານທີ່ແໜ້ນໜາຫຼາຍ: ຄວາມຮາບພຽງ 1–5 µm ຕະຫຼອດເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 450 ມມ, ຕຳແໜ່ງຮູ ±2 µm, ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ Ra < 0.1 µm, ແລະ ຄວາມຂະໜານ < 2 µm ແມ່ນພົບເລື້ອຍ.
  • ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສູນຍາກາດ ແລະ ພລາສມາ: ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆຕ້ອງຢູ່ລອດໄດ້ຈາກພລາສມາຟລູອໍຣີນ ຫຼື ຄລໍຣີນທີ່ຮຸນແຮງ, ສູນຍາກາດສູງພິເສດ (10⁻⁹ mbar), ແລະ ອຸນຫະພູມຕັ້ງແຕ່ -100 °C ຫາ >800 °C ໂດຍບໍ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດອອກ ຫຼື ການສ້າງອະນຸພາກ.
  • ການສ້ອມແປງ ແລະ ການປັບປຸງໃໝ່: ອົງປະກອບຫຼາຍຢ່າງ (ເຊັ່ນ: ການປັບປຸງໃໝ່ຂອງຫົວຈັບໄຟຟ້າສະຖິດ) ແມ່ນໄດ້ຖືກເຄື່ອງຈັກ, ເຄືອບໃໝ່, ແລະ ສົ່ງຄືນໃຫ້ໃຊ້ງານຊ້ຳແລ້ວຊ້ຳອີກ — ເຊິ່ງເປັນວົງຈອນທີ່ເປັນໄປໄດ້ພຽງແຕ່ດ້ວຍຂະບວນການຫັກອອກເທົ່ານັ້ນ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ໃນຂະນະທີ່ຊິບຕົວມັນເອງແມ່ນຜະລິດດ້ວຍຂະບວນການທາງດ້ານແສງ ແລະ ເຄມີ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ຜະລິດຊິບແມ່ນຜະລິດດ້ວຍເຄື່ອງຈັກ CNC ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ອົງປະກອບຫຼັກທີ່ຜະລິດໂດຍເຄື່ອງຈັກ CNC

1. ຫ້ອງສູນຍາກາດ ແລະ ກອບໂຄງສ້າງຂະໜາດໃຫຍ່
ເຄື່ອງມືເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ ແລະ 450 ມມ ທີ່ທັນສະໄໝມີຫ້ອງສູນຍາກາດອາລູມີນຽມ ຫຼື ເຫຼັກສະແຕນເລດທີ່ສາມາດມີນ້ຳໜັກໄດ້ຫຼາຍໂຕນ ແຕ່ຕ້ອງຮັກສາຄວາມຂະໜານຂອງຝາ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງຂອງແປນໃຫ້ຕ່ຳກວ່າ 10 µm. ຫ້ອງເຫຼົ່ານີ້ມັກຈະຖືກເຄື່ອງຈັກຈາກເຫຼັກຫລໍ່ອາລູມີນຽມ 6061-T6 ຫຼື ແຜ່ນເຫຼັກສະແຕນເລດ 316L ເທິງໂຮງສີ gantry 5 ແກນຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ມີທາງນຳທາງໄຮໂດຣສະແຕັກຕິກ.
2. ຂັ້ນຕອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຂັ້ນຕອນຂອງເສັ້ນໂຄ້ງ
ຫົວໃຈຂອງເຄື່ອງມືການພິມດ້ວຍມື EUV ແລະ DUV ແມ່ນເວທີແຜ່ນເວເຟີທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍແຜ່ນຊິລິໂຄນຂະໜາດ 300 ມມ ໄປຢູ່ໃຕ້ກ້ອງໂປເຈັກຊັນເລຊັນທີ່ຄວາມເລັ່ງ > 8g ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງໃນລະດັບນາໂນແມັດ. ຂັ້ນຕອນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນການປະກອບທີ່ສັບສົນຂອງຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກ (SiSiC, Zerodur, ULE) ຫຼື ອາລູມິນຽມທີ່ເຄື່ອງຈັກໃຫ້ມີຄວາມທົນທານຂອງລະດັບໄມຄຣອນ ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຖືກຂັດດ້ວຍມື ຫຼື ຫັນເປັນຮູບຊົງເພັດເພື່ອເຮັດຮູບຮ່າງສຸດທ້າຍ.
3. ໄຟຟ້າສະຖິດ (ESC)
ຫົວຈັບໄຟຟ້າສະຖິດຈະຍຶດແຜ່ນເວເຟີໃຫ້ຮາບພຽງຢ່າງສົມບູນໃນລະຫວ່າງການພິມດ້ວຍຫີນ, ການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ການວາງຊັ້ນ. ໜ້າຜິວໄດອີເລັກຕຣິກ (ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນ Al2O3 ຫຼື AlN ເຊລາມິກທີ່ສີດໃສ່ພື້ນຖານອາລູມິນຽມ ຫຼື ໂມລິບດີນຳ) ຕ້ອງໄດ້ຮັບການເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດໃຫ້ຮາບພຽງຈາກຈຸດສູງສຸດຫາຈຸດສູງສຸດ < 1 µm ຕະຫຼອດ 300 ມມ. ຕົວຖານເອງຕ້ອງການຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນພາຍໃນທີ່ສັບສົນ ເຊິ່ງເຄື່ອງຈັກໂດຍການເຈາະ CNC ຄວາມໄວສູງ ຫຼື ລວດ EDM.
4. ຫົວຝັກບົວກະຈາຍອາຍແກັສ ແລະ ວົງແຫວນຂອບ
ເຄື່ອງມືກັດ ແລະ ເຈາະພລາສມາໃຊ້ຫົວຝັກບົວທີ່ມີຮູຂະໜາດ ແລະ ຕຳແໜ່ງທີ່ແນ່ນອນຫຼາຍພັນຮູ (ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 50–500 µm) ເພື່ອສົ່ງອາຍແກັສໃນຂະບວນການທີ່ເປັນເອກະພາບ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກເຄື່ອງຈັກຈາກອາລູມິນຽມ, ຊິລິກອນ ຫຼື ຄວອດສ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ໂດຍມັກຈະໃຊ້ສູນເຄື່ອງຈັກ CNC ຫຼາຍແກນທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການເຈາະດ້ວຍຄື້ນສຽງ ຫຼື ເລເຊີ.
5. ອົງປະກອບ ແລະ ຕົວຍຶດແສງ
ການພິມດ້ວຍເຄື່ອງ EUV ເຮັດວຽກທີ່ຄວາມຍາວຄື້ນ 13.5 nm ແລະໃຊ້ກະຈົກໂມລິບດີນຳ-ຊິລິຄອນຫຼາຍຊັ້ນທີ່ສະທ້ອນແສງ. ຊັ້ນຮອງກະຈົກ (ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນແກ້ວ Zerodur ຫຼື ULE) ຈະຖືກເຄື່ອງຈັກຫຍາບໂດຍການກ້ຽວເພັດຈຸດດຽວ ຫຼື ການບົດແບບແມ່ນຍຳ, ຈາກນັ້ນຈຶ່ງຂັດເງົາດ້ວຍແສງ. ຕົວຍຶດ kinematic ທີ່ຖືກະຈົກເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງໄດ້ຖືກເຄື່ອງຈັກ CNC ຈາກ Invar ຫຼື Super Invar ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການບິດເບືອນທາງຄວາມຮ້ອນ.

ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງຈັກ CNC ແບບເຄິ່ງຕົວນຳ

1. ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ
6061-T6 ຍັງຄົງເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໄດ້ດີເນື່ອງຈາກມີຄວາມສາມາດໃນການຕັດທີ່ດີເລີດ, ມີຄວາມແຂງແຮງທີ່ເໝາະສົມ, ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ຳ. ສຳລັບຄວາມແຂງແກ່ນທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ່ຳລົງ, ໂລຫະປະສົມອາລູມີນຽມທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງເຊັ່ນ: Al 6061-RAM2, RSA-6061, ຫຼື Cearun™ (ອາລູມີນຽມເສີມເຊລາມິກ) ແມ່ນຖືກນຳໃຊ້.
2. ໂລຫະປະສົມທີ່ມີການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ຳ
Invar 36 ແລະ Super Invar (ທີ່ມີໂຄໂບລເພີ່ມ) ສະເໜີການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ < 1 ppm/°C ແລະ ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບສ່ວນປະກອບຂອງ reticle ແລະ wafer.
3. ເຊລາມິກ ແລະ ແວ່ນຕາເຕັກນິກ
  • ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ແຊກຊຶມເຂົ້າກັບຊິລິກອນ (SiSiC)
  • ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຜູກມັດດ້ວຍປະຕິກິລິຍາ (RBSC)
  • ແກ້ວຂະຫຍາຍຕໍ່າສຸດ Zerodur® (Schott) ແລະ ULE® (Corning)
  • ອາລູມິນຽມໄນໄຕຣດ (AlN) ແລະ ອາລູມິນາ (Al2O3) ສຳລັບຫົວຈັບໄຟຟ້າສະຖິດ

ວັດສະດຸທີ່ແຕກຫັກງ່າຍເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການຂະບວນການ CNC ພິເສດ: ການເຄື່ອງຈັກດ້ວຍ ultrasonic, ການຂັດດ້ວຍລະບົບ ductile, ຫຼື ການເຄື່ອງຈັກດ້ວຍເລເຊີ.

4. ໂລຫະທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ໂມລິບດີນຳ, ທັງສະເຕນ, ແລະ ໄທທານຽມ ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບອົງປະກອບທີ່ສໍາຜັດກັບພລາສມາຟລູອໍຣີນ. ໂລຫະທົນໄຟເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການເຄື່ອງຈັກ CNC ທີ່ແຂງກະດ້າງ, ມີແຮງບິດສູງ ແລະ ເຄື່ອງມືເພັດໂພລີຄຣິດສະຕາລິນ (PCD).

ສ່ວນປະກອບຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີທົ່ວໄປທີ່ຜະລິດໂດຍເຄື່ອງຈັກ CNC

ອົງປະກອບ
ວັດສະດຸທົ່ວໄປ
ເງື່ອນໄຂສໍາຄັນ
ຕົວຢ່າງຄວາມທົນທານ
ແຜ່ນຮອງແຜ່ນເວເຟີ (ESC)
ອາລູມິນາ, AlN
ຄວາມຮາບພຽງ < 3 µm, Ra < 0.05 µm, ການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ < 10⁻⁹
ຕຳແໜ່ງຮູ ±2 µm
ຫົວຝັກບົວ / ແຜ່ນແກັສ
ອະໂນໄດซ์ Al, 316L SS
5000–20,000 ຮູ Ø0.3–1.0 ມມ, ຕຳແໜ່ງ ±5 µm
< Ra 0.4 ໄມໂຄຣມ
ຝາຫ້ອງສູນຍາກາດ
6061-T6, 5083 ອານ
ເຊື່ອມ + ເຄື່ອງຈັກ, ປ້ອງກັນການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ
ຄວາມຮາບພຽງ < 50 µm ໃນໄລຍະ 2 ແມັດ
ການປະກອບເອເລັກໂຕຣດ
ທອງແດງ OFHC, ໂມລີບດີນຳ
ການນຳໄຟຟ້າ RF, ຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນ
ຕຳແໜ່ງຊ່ອງ ±10 µm
ການປະກອບເຂັມຍົກ
ສະແຕນເລດເຄືອບເຊລາມິກ
ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ການຄວບຄຸມອະນຸພາກ
ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ < 5 µm
ກອບໂຄງສ້າງ (EUV)
ໂລຫະປະສົມ Invar 36, ໂລຫະປະສົມ CTE ຕ່ຳ
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ < 50 ppb/K
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງ ±15 µm
ວົງແຫວນໂຟກັສ, ວົງແຫວນຂອບ
ຊິລິໂຄນ, ຄວອດສ໌, SiC
ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ
ຄວາມທົນທານຂອງໂປຣໄຟລ໌ ±10 µm
 
ຊິ້ນສ່ວນເຫຼົ່ານີ້ມີຂະໜາດຕັ້ງແຕ່ສອງສາມມິນລີແມັດຈົນເຖິງຫຼາຍກວ່າ 2 ແມັດ ແລະ ມີນ້ຳໜັກຕັ້ງແຕ່ຫຼາຍກຣາມຈົນເຖິງຫຼາຍໂຕນ.

ລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ການວັດແທກ

ຄວາມທົນທານໂດຍທົ່ວໄປໃນການເຄື່ອງຈັກອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ:
ຄຸນນະສົມບັດ
ຄວາມທົນທານປົກກະຕິ
ວິທີການວັດແທກ
ຄວາມຮາບພຽງ (ໜ້າຜິວ 300 ມມ)
0.5–2 ໄມໂຄຣມ PV
ການໂຕ້ຕອບ (Fizeau, Zygo)
ຂະຫນານ
1–5 µm
ລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ + ການແຊກແຊງ
ຕຳແໜ່ງຂອງຮູ (ຫຼາຍພັນຮູ)
±2–5 µm
ເຄື່ອງວັດແທກປະສານງານ (CMM)
Surface finish
Ra 0.025–0.1 µm
ການແຊກແຊງແສງສີຂາວ
ຕຳແໜ່ງຂອງຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນ
± 10 µm
ການກວດດ້ວຍ CT scan ຫຼື ການກວດດ້ວຍ ultrasound
 
ປັດຈຸບັນຮ້ານຄ້າຊັ້ນນໍາບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາດ້ານກົນຈັກ "ຊັບໄມຄຣອນ" ຫຼືແມ່ນແຕ່ "100 ນາໂນແມັດ" ເປັນປະຈໍາໃນຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີນໍ້າໜັກຫຼາຍຮ້ອຍກິໂລກຣາມ.

ວິວັດທະນາການຂອງເຄື່ອງຈັກ CNC ສຳລັບວຽກງານເຄິ່ງຕົວນຳ

1. ຍຸກຊຸມປີ 1990–2000
ໂຮງສີຂະໜາດໃຫຍ່ (Waldrich Coburg, Parpas, FPT) ທີ່ມີເກັດ Heidenhain ແລະ ການຕອບສະໜອງຕໍ່ເກັດແກ້ວເດັ່ນ. ແບຣິ່ງໄຮໂດຣສະແຕຕິກ ແລະ ຝักນ້ຳມັນໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ.
2. ຊຸມປີ 2010: ຂັ້ນຕອນການລອຍຕົວດ້ວຍອາກາດ ແລະ ແມ່ເຫຼັກ
ບໍລິສັດຕ່າງໆເຊັ່ນ Aerotech, Physik Instrumente (PI), ແລະ ALIO Industries ໄດ້ນຳສະເໜີຂັ້ນຕອນມໍເຕີເສັ້ນຊື່ທີ່ມີລົມທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ໜ້ອຍກວ່າ 10 nm. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ກາຍເປັນກະດູກສັນຫຼັງຂອງສູນເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາລຸ້ນທີສອງ.
3. ສະພາບປັດຈຸບັນ (2020–2025)
  • ເຄື່ອງຈັກກວາດເພັດຈຸດດຽວຂອງ Moore Nanotechnology ແລະ Precitech ສຳລັບພື້ນຜິວກະຈົກ EUV
  • ສູນການຜະລິດຈຸນລະພາກ Kern Microtechnik ແລະ Yasda ບັນລຸຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຮູບແບບ 100 nm
  • ຊຸດ DMG MORI ULTRASONIC ສຳລັບເຊລາມິກ
  • Fanuc ROBONANO α-NMiA: ຄວາມລະອຽດການຂຽນໂປຣແກຣມ 0.1 nm ແລະ ຄວາມລະອຽດການວາງຕຳແໜ່ງ 1 nm
  • ຮ້ານທີ່ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນອຸນຫະພູມ ±0.01 °C ດ້ວຍພື້ນຖານການແຍກການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໃຊ້ງານໄດ້

ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານວັດສະດຸ ແລະ ການຄັດເລືອກ

1. ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ
6061-T6 ແລະ 5083 ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ເນື່ອງຈາກມີຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງ ແລະ ການຕອບສະໜອງຕໍ່ການອະໂນໄດເຊຊັນທີ່ດີເລີດ. ການອະໂນໄດເຊຊັນແບບແຂງ (ປະເພດ III) ສ້າງຊັ້ນ Al₂O₃ ຂະໜາດ 25–50 µm ທີ່ຕ້ານທານການໂຈມຕີຂອງພລາສມາ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຮູຂຸມຂົນຂະໜາດນ້ອຍໃນການອະໂນໄດເຊຊັນສາມາດດັກຈັບອະນຸພາກໄດ້ — ຮ້ານຄ້າທີ່ທັນສະໄໝໃຊ້ການປະທັບຕາຫຼາຍຂັ້ນຕອນ ແລະ ການເຄືອບທີ່ເປັນເອກະລັກ (ເຊັ່ນ: Twin Wire Arc Spray Al₂O₃ ຫຼື Y₂O₃ plasma spray).
2. ສະແຕນເລດ
316L ຖືກເລືອກສຳລັບຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຕໍ່ກັບພລາສມາ NF₃ ແລະ Cl₂. ການຂັດເງົາດ້ວຍໄຟຟ້າໃຫ້ມີຄວາມໜາ Ra < 0.2 µm ແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ.
3. ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ
ອາລູມິນາ (99.8%), ອາລູມິນຽມໄນໄຕຣດ, ແລະ ຊິລິກອນຄາໄບ ຖືກເຄື່ອງຈັກໃນສະພາບ "ສີຂຽວ" ໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງມືເພັດ, ຈາກນັ້ນກໍ່ເຜົາ. ຄວາມທົນທານຫຼັງຈາກການເຜົາຈະຫົດຕົວ 18–22%, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຮູບແບບການຊົດເຊີຍການຫົດຕົວທີ່ຊັບຊ້ອນ.
4. ໂລຫະປະສົມ CTE ຕ່ຳ
Invar 36 ແລະ Super Invar ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນການພິມດ້ວຍເຄື່ອງ EUV ແລະ DUV ບ່ອນທີ່ຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງນາໂນແມັດໃນໄລຍະການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ 10–40 °C.
5. ໂລຫະທົນໄຟ
ໂມລິບດີນຳ ແລະ ເຕນສະເຕນ ຖືກເຄື່ອງຈັກສຳລັບເອເລັກໂຕຣດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມຂັດຫຼາຍ ແລະ ຕ້ອງການເຄື່ອງຈັກທີ່ແຂງແກ່ນທີ່ມີນ້ຳຢາຫຼໍ່ເຢັນຄວາມດັນສູງ (70–100 ບາ).

ຂະບວນການເຄື່ອງຈັກທີ່ສຳຄັນ

1. ການເຄື່ອງຈັກຄວາມໄວສູງ (HSM) ຂອງອາລູມີນຽມ

Sຄວາມໄວຂອງເຂັມຂັດ 20,000–42,000 rpm, ເຄື່ອງມື PCD ທີ່ສົມດຸນ ຫຼື ເຄື່ອງມືເພັດຜລຶກດຽວ, ການເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍໝອກ, ແລະ ອັລກໍຣິທຶມການເບິ່ງລ່ວງໜ້າຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບສີຄ້າຍຄືກະຈົກ (Ra < 4 nm) ໃນການຜ່ານຄັ້ງດຽວ.

2. ການເຄື່ອງຈັກເຊລາມິກແບບ Ductile-Regime

ໂດຍການຮັກສາຄວາມເລິກຂອງການຕັດໃຫ້ຕໍ່າກວ່າຂອບເຂດວິກິດ (ໂດຍປົກກະຕິ < 1 µm), ວັດສະດຸທີ່ແຕກຫັກງ່າຍສາມາດຖືກເຄື່ອງຈັກໃນຮູບແບບ ductile ໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງມືເພັດທີ່ຄົມຊັດເປັນພິເສດ, ເຊິ່ງຜະລິດພື້ນຜິວທີ່ມີຄຸນນະພາບທາງແສງໂດຍບໍ່ມີການແຕກ.

3. ການຫັນເພັດຈຸດດຽວ (SPDT)
ຈຳເປັນສຳລັບພື້ນຜິວກະຈົກ EUV ທີ່ບໍ່ເປັນຮູບຊົງກົມ. ເຄື່ອງຈັກເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີໝອກນ້ຳມັນ ຫຼື ສູນຍາກາດທີ່ມີການຕອບສະໜອງຕ່ຳກວ່ານາໂນແມັດ.
6.4 EDM ສາຍ ແລະ EDM ຈົມ
ໃຊ້ສຳລັບຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນເລິກ ແລະ ລັກສະນະທີ່ສັບສົນໃນວັດສະດຸທີ່ແຂງ. ເຄື່ອງກຳເນີດໄຟຟ້າທີ່ທັນສະໄໝບັນລຸຜົນສຳເລັດດ້ານໜ້າ < Ra 0.1 µm ໃນການຕັດແບບ skim ດຽວ.
5. ການຜະລິດແບບປະສົມທີ່ເພີ່ມ ແລະ ລົບ
ທ່າອ່ຽງທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາ: ພິມຮູບຊົງ Invar ຫຼື titanium near-net ແບບ 3D, ຈາກນັ້ນກໍ່ສຳເລັດຮູບດ້ວຍເຄື່ອງຈັກໃນແພລດຟອມດຽວກັນ (ເຊັ່ນ: Hermle MPA ຫຼື Lasertec DED hybrids).

ຄວາມຕ້ອງການ CNC ຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຕົວນຳມີຄວາມຕ້ອງການເປັນປະຈຳ:
  • ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງ: ±2–5 µm ໃນໄລຍະການເຄື່ອນທີ່ 500–2000 ມມ
  • ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້: < 1 µm
  • ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ: Ra 0.025–0.1 µm ເທິງພື້ນຜິວທີ່ຫັນໜ້າໄປທາງພລາສມາ
  • ຄວາມຮາບພຽງ: 1–3 µm ໃນໄລຍະ Ø300–450 ມມ
  • ຂະໜານ/ຕັ້ງສາກ: < 3 µm
ເພື່ອບັນລຸເປົ້າໝາຍນີ້, ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງຈັກລົງທຶນໃນ:
  • ສູນເຄື່ອງຈັກ 5 ແກນ ຫຼື ແມ້ກະທັ້ງ 8 ແກນ (ເຊັ່ນ: Yasda, Makino, DMG MORI, Kern, Liechti)
  • ແກນໝຸນໄຮໂດຣສະແຕຕິກ ຫຼື ແກນໝູນອາກາດແລ່ນດ້ວຍຄວາມໄວ 20,000–60,000 rpm
  • ລະບົບຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນຮັກສາອຸນຫະພູມຂອງເຄື່ອງຈັກໃຫ້ຢູ່ພາຍໃນ ±0.1 °C
  • ເຄື່ອງກວດສອບ ແລະ ຕັ້ງຄ່າເຄື່ອງມືເລເຊີໃນເຄື່ອງທີ່ມີຄວາມລະອຽດ 0.1 µm
  • ຖານຫີນແກຣນິດ ຫຼື ໂພລີເມີ-ຄອນກີດ ທີ່ມີການແຍກການສັ່ນສະເທືອນຢ່າງຫ້າວຫັນ
ຕົວຢ່າງ: Yasda YBM-950V ສາມາດບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງປະລິມານ 1 µm ໃນຂະໜາດ 900×500×400 ມມ ຍ້ອນໂຄງສ້າງແບບກ່ອງໃນກ່ອງ ແລະ ຂະໜາດຄວາມລະອຽດ 0.05 µm.

Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elite. Ut elite tellus, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo.

ເຕັກນິກເຄື່ອງຈັກຂັ້ນສູງ

1. ການເຄື່ອງຈັກຄວາມໄວສູງ (HSM) ດ້ວຍເຄື່ອງມືຂະໜາດນ້ອຍ
ຫົວຝັກບົວອາດຈະມີຮູເຈາະຂະໜາດ Ø0.5 ມມ ໄດ້ 15,000 ຮູ ທີ່ຄວາມໄວ 40,000 rpm ດ້ວຍຫົວຕັດຂະໜາດນ້ອຍ 0.1 ມມ. ການເຈາະແບບ Peck ດ້ວຍນ້ຳຢາຫຼໍ່เย็น 100 ບາ ປ້ອງກັນການເຊື່ອມຮອຍບิ่นຊ້ຳ.
2. Ultrasonic-Assisted Machining
ສຳລັບເຊລາມິກ ແລະ ຄວດສ໌, ການສັ່ນສະເທືອນດ້ວຍຄື້ນສຽງ ultrasonic 20–40 kHz ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນແຮງຕັດລົງ 30–70%, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມສຳເລັດຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງເຄື່ອງມືໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
3. ການຫັນເພັດຈຸດດຽວ (SPDT)
ໃຊ້ສຳລັບເລນອິນຟາເຣດ ແລະ ເອເລັກໂຕຣດທອງແດງບາງອັນ. ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວລົງເຖິງ Ra 3–5 nm ແມ່ນເຮັດໄດ້ຕາມປົກກະຕິ.
4. ການເຈາະຮູບຊົງເລຂາຄະນິດທີ່ສັບສົນພ້ອມໆກັນ 5 ແກນ
ຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນພາຍໃນທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 1 ມມ ແລະ ອັດຕາສ່ວນ 20:1 ຖືກເຄື່ອງຈັກໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງມືຮູບຈວຍທີ່ມີຄວາມຍາວ ແລະ ເສັ້ນທາງເຄື່ອງມື trochoidal.
5. ຂະບວນການປະສົມສານເຕີມແຕ່ງ-ລົບ
ອົງປະກອບໃໝ່ບາງຢ່າງ (ເຊັ່ນ: ຫົວຝັກບົວລະບາຍຄວາມຮ້ອນແບບ conformal) ແມ່ນພິມ 3D ໃນ Inconel ຫຼື ທອງແດງຜ່ານ DMLS/LaserCusing, ຫຼັງຈາກນັ້ນຈຶ່ງສຳເລັດຮູບດ້ວຍເຄື່ອງຈັກດຽວກັນໃນລະດັບ ±10 µm.

ການວັດແທກ ແລະ ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ

ຊິ້ນສ່ວນຂອງເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳໄດ້ຮັບການກວດກາຢ່າງເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດໃນອຸດສາຫະກຳໃດກໍ່ຕາມ:
  • ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ Zeiss Prismo ຫຼື Leitz PMM-C ທີ່ມີຄວາມແນ່ນອນສູງ ±0.3 µm
  • ເຄື່ອງວັດແທກການປ່ຽນໄລຍະ Zygo GPI ຫຼື ເທັກໂນໂລຢີ 4D ສຳລັບຄວາມຮາບພຽງ
  • ເຄື່ອງວັດແທກອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີແສງສີຂາວ Bruker ສຳລັບພື້ນຜິວ Ra < 50 nm
  • ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງມວນສານຮີລຽມ-ສະເປກໂຕຣມິເຕີເຖິງ 10⁻¹⁰ mbar·L/s
  • ການວິເຄາະອາຍແກັສຕົກຄ້າງ (RGA) ຫຼັງຈາກອົບ 150 °C ເພື່ອຢືນຢັນການປ່ອຍອາຍແກັສອອກ < 10⁻⁹ Torr·L/s/cm²
  • ການນັບອະນຸພາກຜ່ານເຄື່ອງນັບອະນຸພາກແຫຼວ (LPC) ຫຼື ເຄື່ອງສະແກນອະນຸພາກເລເຊີຫຼັງຈາກການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ ultrasonic
ປະຈຸບັນຫຼາຍຮ້ານຄ້າໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກໃນຂະບວນການຄື: ເຄື່ອງຕັ້ງຄ່າເຄື່ອງມືເລເຊີ Blum, ໂພຣບວັດແທກຄວາມເຄັ່ງຕຶງ Renishaw OMP400, ແລະ ເຊັນເຊີປ່ອຍສຽງ Marposs ເພື່ອກວດຫາການເກີດຂອງໄມໂຄຣຊິບໃນເວລາຈິງ.

ເຄື່ອງຈັກ ແລະ ການປຸງແຕ່ງຫຼັງການເຮັດຄວາມສະອາດໃນຫ້ອງສະອາດ

ເນື່ອງຈາກອະນຸພາກທີ່ມີຂະໜາດ >30 nm ສາມາດຂ້າທຣານຊິດເຕີຂະໜາດ 3 nm ໄດ້, ຮ້ານຄ້າລະດັບສູງຫຼາຍແຫ່ງຈຶ່ງໄດ້ຕິດຕັ້ງຫ້ອງສະອາດ ISO 5 (Class 100) ຫຼື ISO 4 ໂດຍກົງອ້ອມຮອບເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງເຂົາເຈົ້າ.
 
ຕົວຢ່າງປະກອບມີ:
  • ບໍລິສັດ Bullen Ultrasonics (ສະຫະລັດອາເມລິກາ)
  • ສະຖານທີ່ຫ້ອງສະອາດ Tyrolit CNC (ອອສເຕຣຍ)
  • ຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ Utsunomiya ຂອງ Canon (ຍີ່ປຸ່ນ)
ລໍາດັບການທໍາຄວາມສະອາດຫຼັງການເຄື່ອງຈັກມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບ:
  1. ນ້ຳ DI ຄວາມດັນສູງ + ການສັ່ນສະເທືອນແບບເມກາໂຊນິກ
  2. ການເຮັດຄວາມສະອາດທາງເຄມີຫຼາຍຂັ້ນຕອນ (SC-1, SC-2, ປາຣານຍາ)
  3. ເປົ່າແຫ້ງດ້ວຍ N₂ ບໍລິສຸດພິເສດ
  4. ອົບດ້ວຍສູນຍາກາດ 150–200 °C
  5. ການຫຸ້ມຫໍ່ສອງເທື່ອໃນຖົງທີ່ກຳຈັດ N₂ ອອກ

ການສຶກສາກໍລະນີ: ການເຄື່ອງຈັກແຜ່ນພື້ນຖານ EUV Wafer Stage

ແຜ່ນພື້ນຖານເວເຟີ EUV ຂະໜາດ 450 ມມ ໂດຍທົ່ວໄປສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມສັບສົນ:
  • ວັດສະດຸ: ເຊລາມິກ SiSiC, 900 × 800 × 100 ມມ
  • ຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງ: < 1 µm PV ທົ່ວພື້ນຜິວທັງໝົດ
  • ຊ່ອງລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຝັງຢູ່ 120 ຊ່ອງ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 3 ມມ, ຕຳແໜ່ງ ±15 µm
  • ເມັດໃສ່ເກລียว 600 ອັນ (ນ້ຳໜັກເບົາ M4 ຮີລຽມ)
  • ພື້ນຜິວສຸດທ້າຍ: ຂັດກັບ Ra < 50 nm
ການໄຫລຂອງຂະບວນການ:
  1. ການເຄື່ອງຈັກສີຂຽວຂອງແຜ່ນເຫຼັກທີ່ຜູກມັດດ້ວຍປະຕິກິລິຍາ
  2. ການແຊກຊຶມຂອງຊິລິໂຄນ ແລະ ການປິ່ນປົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ
  3. ການບົດຫຍາບໃນສູນເຄື່ອງຈັກ 5 ແກນ
  4. ການຂັດລະອຽດແບບຍືດຫຍຸ່ນທີ່ມີຄວາມເລິກຕັດ 1 µm
  5. ການສຳເລັດຮູບດ້ວຍແມ່ເຫຼັກ (MRF) ສຳລັບການແກ້ໄຂຮູບແບບສຸດທ້າຍ
  6. ເຄື່ອງວັດແທກໃນ Zygo VeriFire MST 600 mm aperture interferometer
  7. ການຕົບມືຄັ້ງສຸດທ້າຍຖ້າຈຳເປັນ
ເວລາເຄື່ອງຈັກທັງໝົດ: 6–10 ອາທິດຕໍ່ຊິ້ນສ່ວນ. ລາຄາ: 800,000–1.2 ລ້ານໂດລາ.

ສິ່ງທ້າທາຍຕ່າງໆ ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳກຳລັງເຄື່ອນຍ້າຍໄປສູ່ໂຫນດຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ 2 nm

1. ສະຖຽນລະພາບລະດັບ Angstrom
ເຄື່ອງມື EUV ທີ່ມີ NA ສູງໃນອະນາຄົດຈະຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການວາງຕຳແໜ່ງຂອງເວທີໃນລະດັບ 50–100 picometre. ສິ່ງນີ້ຊຸກຍູ້ອົງປະກອບກົນຈັກໄປສູ່ຂີດຈຳກັດພື້ນຖານຂອງວັດສະດຸ.
2. ທຣານຊິຊັນ 450 ມມ
ເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່ານັ້ນຕ້ອງການອົງປະກອບເຄື່ອງຈັກທີ່ໃຫຍ່ກວ່າທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທຽບເທົ່າກັນ - ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກເພີ່ມຂຶ້ນເປັນກ້າວໆ.
3. ວັດສະດຸໃໝ່
ວັດສະດຸທີ່ມີສ່ວນປະກອບຈາກຄາບອນ (ການເຄືອບກຣາຟີນ, ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ), ວັດສະດຸປະສົມໂລຫະ-ແມັດຕຣິກ, ແລະໂຄງສ້າງໂຟໂຕນິກຈະຕ້ອງການຮູບແບບການເຄື່ອງຈັກໃໝ່ທັງໝົດ.
4. ຄວາມຍືນຍົງ
ອຸດສາຫະກຳດັ່ງກ່າວກຳລັງຢູ່ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທີ່ຕ້ອງຫຼຸດຜ່ອນການໃຊ້ພະລັງງານ, ນ້ຳ ແລະ ສານເຄມີ. ໂຮງງານຜະລິດເຄື່ອງຈັກກຳລັງຮັບຮອງເອົາການຫຼໍ່ລື່ນປະລິມານຕໍ່າສຸດ (MQL), ການເຮັດໃຫ້ເຢັນດ້ວຍອຸນຫະພູມຕ່ຳສຸດ, ແລະ ການຣີໄຊເຄີນຊິບອາລູມີນຽມ.

ສະຫຼຸບ

ໃນຂະນະທີ່ຈຸດສຸມໃນຂ່າວເຄິ່ງຕົວນຳຍັງຄົງຢູ່ທີ່ຄວາມຍາວຄື້ນຂອງການພິມດ້ວຍລີທອກຣາຟີ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທຣານຊິດເຕີ, ແຕ່ຄວາມເປັນຈິງແມ່ນວ່າບໍ່ມີຊິບທີ່ທັນສະໄໝໃດສາມາດຜະລິດໄດ້ໂດຍບໍ່ມີກອງທັບຂອງອົງປະກອບກົນຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງທີ່ຜະລິດໂດຍການເຄື່ອງຈັກ CNC. ຕັ້ງແຕ່ຫ້ອງສູນຍາກາດຫຼາຍໂຕນທີ່ຮາບພຽງຈົນເຖິງລະດັບໄມຄຣອນ ຈົນເຖິງຂັ້ນຕອນເວເຟີເຊລາມິກທີ່ໝັ້ນຄົງຈົນເຖິງອະຕອມສອງສາມອະຕອມ, ການເຄື່ອງຈັກ CNC ດຳເນີນການຢູ່ໃນຂອບເຂດທີ່ແທ້ຈິງຂອງສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ທາງດ້ານກົນຈັກ.
 
ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາແຂ່ງຂັນໄປສູ່ຄຸນສົມບັດຂະໜາດ angstrom ແລະເວເຟີ 450 ມມ, ຄວາມຕ້ອງການກ່ຽວກັບການເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຈະເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ໂຮງງານທີ່ສາມາດສົ່ງມອບຄວາມແມ່ນຍໍາ submicron ໃນຊິ້ນສ່ວນຂະໜາດແມັດ, ໃນວັດສະດຸທີ່ແປກປະຫຼາດ, ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ຈະຍັງຄົງເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຂອງ ASML, Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron, ແລະຜູ້ຜະລິດຊິບເອງ.
 
ໃນທີ່ສຸດ, ກົດເກນຂອງ Moore ທີ່ມີຊື່ສຽງບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນເລື່ອງລາວກ່ຽວກັບຟີຊິກ ແລະ ເຄມີສາດເທົ່ານັ້ນ - ມັນຍັງເປັນໄຊຊະນະຂອງວິສະວະກຳກົນຈັກທີ່ຖືກປະຕິບັດອົງປະກອບເຄື່ອງຈັກທີ່ສົມບູນແບບໃນແຕ່ລະຄັ້ງ.