CNC Machine maka Semiconductors:
Mmepụta Nrụpụta N'obi nke Mgbanwe Chip
Ụlọ ọrụ semiconductor bụ ntọala nke teknụzụ ọgbara ọhụrụ. Site na ekwentị mkpanaaka na laptọọpụ ruo na sistemụ ọgụgụ isi arụrụ arụ, ụgbọ ala eletrik, na ngwaọrụ ahụike dị elu, ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe ọ bụla na-arụ ọrụ taa na-enweghị sekit agbakwunyere (ICs). Isi ihe dị na ụlọ ọrụ a bụ ọchịchọ na-enweghị njedebe maka nkenke a tụrụ na micrometers na ọbụna nanomita.
Ọ bụ ezie na fotolithography, ihe e ji etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, na ihe e ji ede ihe bụ isi akụkọ mgbe ndị mmadụ na-ekwu maka ime chip, e nwere ihe na-enye aka nke a na-anaghị eji nke ọma mana nke dị oke mkpa n'azụ ihe nkiri: Kọmputa Control Number (CNC). Igwe CNC dị oke mma na-emepụta ihe ndị dị larịị, nke na-adịgide adịgide, na nke zuru oke n'ụzọ geometric nke na-eme ka akụrụngwa mmepụta semiconductor kwe omume.
Isiokwu a na-enyocha ihe mere igwe CNC ji dị mkpa na gburugburu ebe obibi semiconductor, nke ihe ndị mejupụtara ya dabere na ya, ihe ndị dị na ya na ihe ndị metụtara ya, mgbanwe nke ngwaọrụ na usoro igwe, na ihe ịma aka ndị ga-abịa n'ọdịnihu ka ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'ihu na mmepụta ihe n'oge angstrom.
Ihe Mere Ịrụ Ọrụ CNC Ji Dị Mkpa Na Semiconductor
EquipmentỤlọ ọrụ mmepụta ihe Semiconductor (fab) nwere ọtụtụ narị ngwaọrụ nhazi, nke ọ bụla na-efu site na nde $10 ruo ihe karịrị nde $400 (maka sistemụ High-NA EUV nke ASML). Ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ngwaọrụ ndị a niile nwere ọtụtụ narị ma ọ bụ puku akụkụ igwe eji arụ ọrụ nke ọma.Isi ihe kpatara enweghị ike ịgbanwe igwe CNC kpamkpam:
- Mgbagwoju anya nke geometric dị oke njọ: Ọtụtụ ihe mejupụtara ya nwere ọwa dị mgbagwoju anya dị n'ime, oghere dị elu, mgbidi dị gịrịgịrị, na nhazi 3D dị mgbagwoju anya nke siri ike ma ọ bụ agaghị ekwe omume iji usoro ịkpụ, ịkpụ, ma ọ bụ usoro mgbakwunye dị ọcha mepụta.
- Ụdị ihe dị iche iche: Ngwa Semiconductor na-eji aluminom, ígwè anaghị agba nchara (usoro 300, 316L, 17-4PH), titanium, ọla kọpa, seramiiki (Al₂O₃, AlN, SiC), invar, na superalloys. CNC nwere ike ijikwa ha niile.
- Nkwenye siri ike nke ukwuu: Nha dị larịị nke 1–5 µm n'ofe dayameta 450 mm, ọnọdụ oghere ±2 µm, oke elu Ra < 0.1 µm, na nha nhata < 2 µm bụ ihe a na-ahụkarị.
- Ndakọrịta nke vacuum na plasma: Akụkụ ndị ahụ ga-adị ndụ site na plasma fluorine ma ọ bụ chlorine siri ike, vacuum dị elu nke ukwuu (10⁻⁹ mbar), na okpomọkụ site na −100 °C ruo >800 °C na-enweghị mmepụta gas ma ọ bụ ihe ndị dị na ya.
- Ndozi na Ndozi: Ọtụtụ ihe mejupụtara (dịka ọmụmaatụ, ndozigharị chuck electrostatic) ka a na-emegharị, na-ekpuchi ya ọzọ, ma weghachite ya na ọrụ - usoro a ga-ekwe omume naanị site na usoro mwepụ.
Isi Ihe Ndị Dị Mkpa E Ji CNC Machining Eme
1. Ụlọ Vacuum na Frames Nhazi Ukwu
Ngwaọrụ wafer nke oge a nke dị 300 mm na nke na-apụta 450 mm nwere ụlọ vacuum aluminum ma ọ bụ igwe anaghị agba nchara nke nwere ike ịdị ọtụtụ tọn mana ha ga-anọgide na-enwe otu ihe ahụ na mgbidi ma nwee ike ịdị larịị ruo ihe dị ka 10 µm. A na-ejikarị ihe mkpuchi aluminum 6061-T6 ma ọ bụ efere ígwè anaghị agba nchara 316L arụ ụlọ ndị a n'elu nnukwu igwe nchara 5-axis nwere ụzọ nduzi hydrostatic.
2. Usoro Wafer na Usoro Reticle
Isi ihe dị na ngwa ọrụ lithography EUV na DUV bụ usoro wafer nke na-ebugharị wafer silicon 300 mm n'okpuru ihe ngosi anya na ọsọ ọsọ karịa 8g ebe ọ na-ejigide izi ezi nke ọkwa nanomita. Usoro ndị a bụ njikọta dị mgbagwoju anya nke seramiiki (SiSiC, Zeduror, ULE glass) ma ọ bụ akụkụ aluminom nke ejiri igwe rụọ ruo na nnabata sub-micron wee jiri aka ma ọ bụ diamond tụgharịa gaa na geometry ikpeazụ.
3. Electrostatic Chucks (ESC)
Electrostatic chucks na-ejide wafers nke ọma n'oge lithography, etching, na deposition. A ga-eji igwe ma kpụọ elu dielectric (nke a na-ejikarị Al2O3 ma ọ bụ AlN seramiiki a fesara n'elu aluminom ma ọ bụ molybdenum) ka ọ dị larịị karịa 1 µm n'ofe 300 mm. Ntọala ahụ n'onwe ya chọrọ ọwa oyi dị n'ime nke ejiri igwe CNC ma ọ bụ waya EDM mee.
4. Isi ịsa ahụ na mgbanaka dị n'akụkụ nkesa gas
Ngwaọrụ etch na deposition nke plasma na-eji isi mmiri ịsa ahụ nwere ọtụtụ puku oghere ndị a kapịrị ọnụ na ndị a kapịrị ọnụ (dayameta 50-500 µm) iji nye gas nhazi otu. A na-ejikarị aluminom, silicon, ma ọ bụ quartz eme ihe ndị a, na-ejikarị ebe nhazi CNC dị iche iche nwere ikike igwu ala ultrasonic ma ọ bụ laser enyere aka.
5. Ihe ndị dị na ngwa anya na ihe ndị e ji etinye ihe
Usoro nyocha EUV na-arụ ọrụ na ogologo 13.5 nm ma na-eji enyo molybdenum-silicon nke nwere ọtụtụ oyi akwa reflective. A na-ebu ụzọ jiri otu-isi diamond turning ma ọ bụ kụọ ihe n'ụzọ ziri ezi na-akpụ ihe ndị dị n'ime enyo ahụ (nke na-abụkarị iko Zeduror ma ọ bụ ULE) mee ihe siri ike, wee jiri anya mee ka ọ dị mma. A ga-eji CNC mee ihe ndị dị n'ime kinematic nke na-ejide enyo ndị a site na Invar ma ọ bụ Super Invar iji belata mgbanwe okpomọkụ.
Ihe eji eme ihe na Semiconductor CNC Machinery
1. Aluminom alloys
6061-T6 ka bụ ihe na-arụ ọrụ nke ọma n'ihi na ọ na-arụ ọrụ nke ọma, ọ na-arụkwa ọrụ nke ọma, ọ na-akwụkwa ụgwọ dị ala. Maka ike dị elu na mgbasawanye okpomọkụ dị ala, a na-eji ihe ndị e ji aluminom mee dịka Al 6061-RAM2, RSA-6061, ma ọ bụ Cearun™ (aluminom e ji seramiiki mee) eme ihe.
2. Ngwa Mgbasawanye Dị Ala
Invar 36 na Super Invar (gụnyere cobalt agbakwunyere) na-enye mmụba okpomọkụ <1 ppm/°C ma dị oke mkpa maka ihe ndị mejupụtara reticle na wafer.
3. Seramiki na iko teknụzụ
- Carbide silicon nke e tinyere na silikọn (SiSiC)
- Silicon carbide ejiri ihe jikọtara mmeghachi omume (RBSC)
- Iko mgbasawanye Zedurod® (Schott) na ULE® (Corning) dị oke ala
- Aluminium nitride (AlN) na alumina (Al2O3) maka ihe ndị na-eme ka electrostatic chucks dị
Ihe ndị a na-agbawa agbawa chọrọ usoro CNC pụrụ iche: igwe ultrasonic, igwe egweri usoro ductile, ma ọ bụ igwe e ji laser enyere aka.
4. Ọla Dị Ọcha Dị Elu
A na-eji Molybdenum, tungsten, na titanium eme ihe maka ihe ndị e tinyere na plasma fluorine. Ọla ndị a na-anaghị emegharị emegharị chọrọ igwe CNC siri ike, nke nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma na ngwaọrụ polycrystalline diamond (PCD).
Ihe Ndị A Na-ahụkarị nke Semiconductor nke CNC Machining mere
akụrụngwa | Ihe a na-ahụkarị | Key chọrọ | Ihe Nlereanya Ntachi Obi |
|---|---|---|---|
Wafer Chucks (ESC) | Alumina, AlN | Nkwụsi ike < 3 µm, Ra < 0.05 µm, ntapu helium < 10⁻⁹ | Ọnọdụ oghere ± 2 µm |
Isi ịsa ahụ / Efere gas | Anodized Al, 316L SS | Oghere 5000–20,000 Ø0.3–1.0 mm, ọnọdụ ±5 µm | < Ra 0.4 µm |
Mgbidi ụlọ ikuku akọrọ | 6061-T6, 5083 Al | Ejiri ígwè rụọ ọrụ + nke e ji ígwè rụọ, mmiri na-agbapụta nke ọma site na helium | Nha dị larịị < 50 µm karịa 2 m |
Mgbakọ elektrọd | OFHC ọla kọpa, molybdenum | Nduzi RF, ọwa jụrụ oyi | Ọnọdụ ọwa ± 10 µm |
Mgbakọ ntụtụ ebuli | Igwe anaghị agba nchara nke a kpuchiri seramiiki | Iyi iguzogide, njikwa ihe ndị na-adịghị mma | Mgbakwunye uche < 5 µm |
Okpokoro ihe owuwu (EUV) | Invar 36, alloys CTE dị ala | Nkwụsi ike nke okpomọkụ < 50 ppb/K | Izi ezi nke ọnọdụ ±15 µm |
Mgbaaka anya, mgbaaka ọnụ | Silikọn, quartz, SiC | Mgbochi mbuze nke plasma | Ntachi obi profaịlụ ±10 µm |
Akụkụ ndị a dị site na milimita ole na ole ruo ihe karịrị mita abụọ, ha dịkwa arọ site na gram ruo tọn dị iche iche.
Ọkwa na Usoro Nhazi
Nnwere onwe nkịtị na igwe eji arụ ọrụ akụrụngwa semiconductor:
atụmatụ | Nkwenye a na-ahụkarị | Usoro nha |
|---|---|---|
Ịdị larịị (elu 300 mm) | PV 0.5–2 µm | Interferometry (Fizeau, Zygo) |
Ndekota | 1-5 µm | Ọkwa eletrọniki + interferometry |
Ọnọdụ oghere (puku kwuru puku oghere) | ± 2-5 µm | Igwe ihe nchikota (CMM) |
Izucha ihu | Ra 0.025–0.1 µm | Interferometry nke ìhè ọcha |
Ọnọdụ ọwa jụrụ oyi | ± 10 µm | Nnyocha CT ma ọ bụ nyocha ultrasound |
Ụlọ ahịa ndị a ma ama ugbu a na-enweta "sub-micron" ma ọ bụ ọbụna "100-nanometer" izi ezi nke igwe na ihe ndị dị arọ narị kilogram.
Mmalite nke Ngwaọrụ Igwe CNC maka Ọrụ Semiconductor
1. Oge nke afọ 1990–2000
Nnukwu ụlọ ọrụ ihe owuwu (Waldrich Coburg, Parpas, FPT) nwere ihe ndị dị na Heidenhain na ihe ndị na-egosi na iko na-achịkwa. Ihe ndị na-eme ka mmiri dị na hydrostatic na ebe ịsa mmanụ mere ka okpomọkụ sie ike.
2. Afọ 2010: Ọnọdụ Ibu Ikuku na Mpịakọta Mpịakọta
Ụlọ ọrụ dịka Aerotech, Physik Instrumente (PI), na ALIO Industries webatara usoro moto ndị na-ebu ikuku nke nwere ike imegharị ihe dịka nm 10. Ndị a ghọrọ isi ihe dị mkpa maka ebe a na-arụzi igwe nke ọgbọ nke abụọ.
3. Ọnọdụ dị ugbu a (2020–2025)
- Igwe na-atụgharị diamond nke otu isi na Moore Nanotechnology na Precitech maka ihe ndị na-eme ka enyo EUV dị
- Ebe a na-emepụta obere ihe eji arụ ọrụ na Kern Microtechnik na Yasda na-enweta izi ezi nke ụdị 100 nm
- Usoro DMG MORI Ultrasonic maka seramiiki
- Fanuc ROBONANO α-NMiA: Mkpebi mmemme 0.1 nm na mkpebi nhazi 1 nm
- Ụlọ ahịa ndị a na-achịkwa okpomọkụ na-ejide na ±0.01 °C nwere ntọala mmịpụta na-arụ ọrụ
Ihe ịma aka na nhọrọ nke ihe eji arụ ọrụ
1. Aluminom Alloys
6061-T6 na 5083 bụ ihe ndị na-arụ ọrụ n'ihi na ha nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma na nzaghachi anodization. Anodizing siri ike (Ụdị nke Atọ) na-emepụta oyi akwa Al₂O₃ 25–50 µm nke na-eguzogide mwakpo plasma. Agbanyeghị, obere pores na anodizing nwere ike ijide ihe ndị ahụ - ụlọ ahịa ọgbara ọhụrụ na-eji mkpuchi ọtụtụ nzọụkwụ na mkpuchi nkeonwe (dịka ọmụmaatụ, Twin Wire Arc Spray Al₂O₃ ma ọ bụ Y₂O₃ plasma spray).
2. Igwe anaghị agba nchara
A na-ahọrọ 316L maka iguzogide nchara megide plasma NF₃ na Cl₂. Ọ dị mkpa ka e jiri electropolishing ruo Ra < 0.2 µm iji belata njikọta nke ihe ndị dị n'ime ya.
3. Seramiiki
A na-eji ngwa diamond arụ ọrụ alumina (99.8%), aluminom nitride, na silicon carbide n'ọnọdụ "akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ" wee sintered. Nkwụsi ike mgbe sintering gasịrị na-ebelata site na 18–22%, nke chọrọ ụdị nkwụghachi ụgwọ dị elu.
4. Alloys dị ala nke CTE
A na-eji Invar 36 na Super Invar eme ihe na usoro lithography EUV na DUV ebe achọrọ nkwụsi ike nanometer n'ofe mgbanwe okpomọkụ 10-40 °C.
5. Ọla ndị na-anaghị agbaze agbaze
A na-eji Molybdenum na tungsten arụ ọrụ maka elektrọd ndị nwere okpomọkụ dị elu. Ihe ndị a na-emebi emebi nke ukwuu ma chọọ igwe siri ike nwere ihe na-eme ka mmiri dị jụụ (70-100 bar).
Usoro Nrụpụta Ihe Dị Mkpa
1. Ịrụ ọrụ Aluminom dị elu (HSM)
Sọsọ pindle 20,000–42,000 rpm, ngwaọrụ PCD ma ọ bụ otu kristal kristal, igwe oyi igwe, na algọridim nlele anya na-enye ohere imecha ihe dị ka enyo (Ra < 4 nm) n'otu ngafe.
2. Nhazi nke Seramiki Ductile
Site n'idebe omimi nke ịkpụ ihe n'okpuru oke dị mkpa (nke na-abụkarị ihe na-erughị 1 µm), enwere ike iji ngwaọrụ diamond dị nkọ nke ukwuu rụọ ihe ndị na-agbawa agbawa n'ụdị ductile, na-emepụta elu dị mma na-enweghị mgbawa.
3. Ntụgharị diamond otu-point (SPDT)
Dị mkpa maka ihe ndị e ji enyo EUV mee. Igwe na-arụ ọrụ n'ebe a na-eji mmanụ ma ọ bụ ihe ndị na-anaghị amị amị nwere nzaghachi sub-nanometer.
6.4 EDM Waya na Sinker EDM
A na-eji ya eme ihe maka ọwa mmiri dị omimi na ihe ndị dị mgbagwoju anya n'ime ihe ndị siri ike. Ihe ndị na-emepụta ihe ọgbara ọhụrụ na-enweta mmecha elu < Ra 0.1 µm n'otu skim bee.
5. Mmepụta Ngwakọta Ngwakọta Mgbakwunye + Mwepụ
Usoro na-apụta: Ọdịdị Invar nke 3D ma ọ bụ titanium nke dị nso na net, wee jiri igwe mechie ihe n'otu ikpo okwu ahụ (dịka ọmụmaatụ, Hermle MPA ma ọ bụ Lasertec DED hybrids).
Ihe CNC chọrọ maka nkenke na nke zuru oke
A na-achọkarị akụkụ semiconductor:
- Izi ezi nke ọnọdụ: ±2–5 µm karịa njem 500–2000 mm
- Mmegharị: < 1 µm
- Mmecha elu: Ra 0.025–0.1 µm n'elu elu ndị na-eche ihu plasma
- Nha dị larịị: 1–3 µm karịa Ø300–450 mm
- Njikọta/perpendicularity: < 3 µm
- Ebe nhazi igwe nke axis ise ma ọ bụ ọbụna ebe nhazi axis asatọ (dịka ọmụmaatụ, Yasda, Makino, DMG MORI, Kern, Liechti)
- Spindle ndị nwere hydrostatic ma ọ bụ ikuku na-agba ọsọ na 20,000–60,000 rpm
- Sistemụ nhazi okpomọkụ na-eme ka okpomọkụ igwe dị n'ime ±0.1 °C
- Ngwaọrụ nyocha n'ime igwe na laser nwere mkpebi 0.1 µm
- Ntọala granite ma ọ bụ polima-simenti nwere mwepu na-arụ ọrụ
Mgbe ị na-ekwenye ndị ọzọ, anyị na-ekwenye ekwenye. Ut elit agwa, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo.
Usoro igwe dị elu
1. Ịrụ ọrụ ngwa ngwa (HSM) site na iji obere ngwaọrụ
Isi ịsa ahụ nwere ike inwe oghere 15,000 nke Ø0.5 mm a gwuru na 40,000 rpm yana igwe ihe eji arụ ọrụ 0.1 mm. Igwe a na-egwupụta peck na ihe na-eme ka mmiri dị n'ime ogwe 100 na-egbochi ịgbado ọkụ chip ọzọ.
2. Ngwá ọrụ enyemaka nke Ultrasonic
Maka seramiiki na quartz, mmụba ultrasonic nke 20-40 kHz na-ebelata ike ịkpụ site na 30-70%, na-eme ka njedebe elu na ndụ ngwaọrụ dịkwuo mma nke ukwuu.
3. Ntụgharị diamond otu-point (SPDT)
A na-eji ya maka anya infrared na ụfọdụ elektrọd ọla kọpa. Mmecha elu ala ruo Ra 3–5 nm bụ ihe a na-emekarị.
4. Ngwekọta Jiometrị Dị Mgbagwoju Anya nke Axis 5 n'otu oge
A na-eji ngwaọrụ ndị dị ogologo na ụzọ trochoidal arụ ọrụ ọwa oyi dị n'ime nke nwere dayameta 1 mm na oke akụkụ 20:1.
5. Usoro Ngwakọta Mgbakwunye-Mbelata
A na-ebipụta ụfọdụ ihe ọhụrụ (dịka ọmụmaatụ, isi mmiri ịsa ahụ a na-eme ka ọ dị jụụ) na Inconel ma ọ bụ ọla kọpa site na DMLS/LaserCusing, wee mechaa igwe ahụ na otu igwe ahụ ruo ±10 µm.
Usoro na Nkwanye Elu nke Nhazi
A na-enyocha akụkụ semiconductor kachasị sie ike n'ụlọ ọrụ ọ bụla:
- CMM ndị dị oke nkenke nke Zeiss Prismo ma ọ bụ Leitz PMM-C nwere ±0.3 µm enweghị nchekwube
- Zygo GPI ma ọ bụ 4D Teknụzụ na-agbanwe usoro ntụgharị maka ịdị larịị
- Ngwakọta ihe na-enye ọkụ ọcha Bruker maka elu Ra < 50 nm
- Nnwale ntapu mmiri nke helium mass-spectrometer ruo 10⁻¹⁰ mbar·L/s
- Nyocha Gas Residual (RGA) mgbe okpomọkụ 150 °C gasịrị iji gosi na gas na-apụ n'anya < 10⁻⁹ Torr·L/s/cm²
- Ịgụta ihe ndị dị na ya site na ihe nlele ihe ndị dị na mmiri mmiri (LPC) ma ọ bụ ihe nyocha ihe ndị dị na laser mgbe e mechara nhicha ultrasonic
Ịrụzi Ụlọ Nhicha na Mgbe Nhazi Ya Gasịrị
Ebe ọ bụ na ihe ndị karịrị 30 nm nwere ike igbu transistor 3 nm, ọtụtụ ụlọ ahịa dị elu etinyela ISO 5 (Klas 100) ma ọ bụ ISO 4 ụlọ nhicha gburugburu igwe ha kpọmkwem.
Ihe atụ gụnyere:
- Bullen Ultrasonics (USA)
- Ebe a na-ehicha ụlọ nhicha Tyrolit CNC (Austria)
- Ụlọ nhicha igwe eji arụ ọrụ nke Canon's Utsunomiya (Japan)
- Mmiri DI dị elu + mkpali megasonic
- Nhicha kemịkalụ dị iche iche (SC-1, SC-2, piranha)
- N₂ dị ọcha nke ukwuu
- Achịcha igwe anaghị agba nchara nke 150–200°C
- Akpa okpukpu abụọ n'ime akpa N₂ e kpochapụrụ
Ọmụmụ Ihe: Ịrụzi efere EUV Wafer Stage Baseplate
Ihe e ji emechi oghere wafer nke 450 mm EUV na-egosi mgbagwoju anya:
- Ihe eji eme ya: Seramiiki SiSiC, 900 × 800 × 100 mm
- Ihe achọrọ maka ịdị larịị: < 1 µm PV n'elu elu ahụ dum
- Ọwa oyi 120 agbakwunyere, dayameta 3 mm, ọnọdụ ±15 µm
- Ihe ntinye eriri 600 (M4 helium-light)
- Elu ikpeazụ: agbagoro ruo Ra < 50 nm
- Nhazi akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ nke oghere e jikọtara mmeghachi omume
- Ịbanye na silicon na ọgwụgwọ okpomọkụ
- Ịkpụcha ihe siri ike na ebe a na-arụ ọrụ 5-axis
- Nchacha usoro ductile na-eji omimi nke 1 µm nke ịkpụ
- Mmecha Magnetorheological (MRF) maka mmezi fọm ikpeazụ
- Usoro nyocha na Zygo VeriFire MST 600 mm oghere interferometer
- Ịkwapụ aka ikpeazụ ma ọ bụrụ na ọ dị mkpa
Ihe ịma aka ka ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'okpuru nm Nodes
1. Ịkwụsi Ike n'Ọkwa Angstrom
Ngwaọrụ EUV dị elu NA nke ga-abịa n'ọdịnihu ga-achọ nkwụsi ike n'ọnọdụ ọkwa na oke pikometrị 50-100. Nke a na-akwalite akụkụ igwe na oke ihe ndị bụ isi.
2. Mgbanwe 450 mm
Wafer ndị buru ibu chọrọ ihe ndị e ji ígwè rụọ nke ọma karịa nke nwere otu nkenke ahụ—mmụba dị ukwuu n'ihe isi ike.
3. Ihe ọhụrụ
Ihe ndị e ji carbon mee (mkpuchi graphene, carbon dị ka dayamọnd), ihe mejupụtara metal-matrix, na nhazi photonic ga-achọ ụdị igwe eji arụ ọrụ ọhụrụ kpamkpam.
4. Nkwado
Ụlọ ọrụ a na-enwe nrụgide iji belata ike, mmiri, na oriri kemịkalụ. Ụlọ ọrụ igwe na-eji mmanụ ọkụ kacha nta (MQL), oyi dị nkọ, na imegharị ihe mkpofu aluminom.
mmechi
Ọ bụ ezie na akụkọ semiconductor ka na-elekwasị anya na ogologo oge lithography na njupụta transistor, eziokwu bụ na enweghị ike imepụta chip dị elu na-enweghị ọtụtụ ihe mechanical kpọmkwem nke CNC machining mepụtara. Site na ụlọ vacuum dị larịị ruo na micron ruo na ọkwa seramiiki wafer kwụsiri ike ruo na atọm ole na ole, CNC machining na-arụ ọrụ na oke ókè nke ihe enwere ike ime n'ime igwe.
Ka ụlọ ọrụ ahụ na-agba ọsọ iji nweta atụmatụ nhazi angstrom na wafers 450 mm, ọchịchọ dị na igwe nhazi ziri ezi ga-akawanye njọ. Ụlọ ahịa ndị nwere ike ịnye izi ezi sub-micron na akụkụ nhazi mita, na ihe ndị dị iche iche, n'okpuru ọnọdụ ụlọ nhicha, ga-anọgide na-abụ ndị mmekọ dị mkpa nye ASML, Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron, na ndị na-eme chip n'onwe ha.
N'ikpeazụ, Iwu Moore a ma ama abụghị naanị akụkọ gbasara physics na kemistri—ọ bụkwa mmeri nke injinia igwe nke ejiri otu ihe eji arụ ọrụ nke ọma mee n'otu oge.