Meaisínithe CNC do Leathsheoltóirí:
Déantúsaíocht Beachtas i gCroílár Réabhlóid na Sliseanna
Is í an tionscal leathsheoltóra bunús na teicneolaíochta nua-aimseartha. Ó fhóin chliste agus ríomhairí glúine go córais intleachta saorga, feithiclí leictreacha, agus feistí leighis chun cinn, níl beagnach aon rud ag feidhmiú inniu gan ciorcaid chomhtháite (ICanna). I gcroílár an tionscail seo tá éileamh gan chomhréiteach ar chruinneas a thomhaistear i micriméadair agus fiú i nanaiméadar.
Cé go mbíonn fótailitagrafaíocht, taisceadh scannán tanaí, agus greanadh i réim sna ceannlínte nuair a bhíonn daoine ag caint faoi dhéanamh sceallóga, tá cumasóir ríthábhachtach ann nach dtugtar aird air go minic ach atá ríthábhachtach: meaisínithe Rialaithe Uimhriúla Ríomhaireachta (CNC). Táirgeann meaisínithe CNC ardchruinneas na comhpháirteanna thar a bheith cothrom, atá cobhsaí ó thaobh teirmeach de, agus atá foirfe ó thaobh geoiméadrachta de a fhágann gur féidir trealamh déantúsaíochta leathsheoltóra a dhéanamh.
Scrúdaíonn an t-alt seo cén fáth a bhfuil meaisínithe CNC fós riachtanach san éiceachóras leathsheoltóra, cé na comhpháirteanna a bhraitheann air, na hábhair agus na lamháltais atá i gceist, éabhlóid uirlisí agus próiseas meaisín, agus na dúshláin amach anseo de réir mar a bhogann an tionscal i dtreo déantúsaíochta ré angstrom.
Cén fáth go bhfuil meaisínithe CNC fós riachtanach i leathsheoltóirí
TrealamhBíonn na céadta uirlisí próiseála i monarchana monaraíochta leathsheoltóra (fabanna), agus costas gach ceann acu idir $10 milliún agus os cionn $400 milliún (i gcás chórais EUV Ard-NA ASML). Bíonn na céadta nó na mílte páirteanna meaisínithe go beacht i mbeagnach gach ceann de na huirlisí seo.Príomhchúiseanna nach féidir meaisínithe CNC a athsholáthar go hiomlán:
- Castacht gheoiméadrach mhór: Tá bealaí fuaraithe inmheánacha casta, poill ardchóimheasa, ballaí tanaí, agus comhrianta 3T casta ag go leor comhpháirteanna atá deacair nó dodhéanta a tháirgeadh le réitigh, brionnú, nó modhanna breiseáin íon.
- Éagsúlacht ábhar: Úsáideann trealamh leathsheoltóra alúmanam, cruach dhosmálta (sraith 300, 316L, 17-4PH), tíotáiniam, copar, criadóireacht (Al₂O₃, AlN, SiC), invar, agus sárchóimhiotail. Is féidir le CNC déileáil leo go léir.
- Lamháltais thar a bheith daingean: Is coitianta cothromaíocht 1–5 µm trasna trastomhais 450 mm, suíomh an phoill ±2 µm, garbhúlacht dromchla Ra < 0.1 µm, agus comhthreomhaireacht < 2 µm.
- Comhoiriúnacht folúis agus plasma: Ní mór do chodanna maireachtáil i gcoinne plasma fluairín nó clóirín ionsaitheach, folús sár-ard (10⁻⁹ mbar), agus teochtaí ó −100 °C go >800 °C gan gásáil amach ná cáithníní a ghiniúint.
- Deisiú agus athchóiriú: Déantar go leor comhpháirteanna (m.sh., athchóiriú chuck leictreastatach) a mheaisíniú, a athchótaiú, agus a chur ar ais i seirbhís arís agus arís eile — timthriall nach féidir a dhéanamh ach le próisis dhealaitheacha.
Príomhchodanna arna ndéanamh ag meaisínithe CNC
1. Seomraí Folúis agus Frámaí Struchtúracha Móra
Bíonn seomraí folúis alúmanaim nó cruach dhosmálta in uirlisí vaiféir nua-aimseartha 300 mm agus uirlisí atá ag teacht chun cinn 450 mm a fhéadann roinnt tonna a mheá ach a gcaithfidh comhthreomhaireacht bhalla agus cothrom na bhflange a choinneáil go < 10 µm. De ghnáth, déantar na seomraí seo a mheaisíniú ó mhuileanna gaibhnithe alúmanaim 6061-T6 nó plátaí cruach dhosmálta 316L ar mhuilte droichid mhóra 5-ais le treoraithe hidreastatacha.
2. Céimeanna Wafer agus Céimeanna Reticle
Is é croílár uirlisí litagrafaíochta EUV agus DUV an stáitse vaiféir a bhogann vaiféir sileacain 300 mm faoi na hoptaic teilgean ag luasghéaruithe > 8g agus cruinneas suímh ar leibhéal nanaiméadar á choinneáil. Is tionóil chasta de chodanna ceirmeacha (SiSiC, Zerodur, gloine ULE) nó alúmanaim iad na stáitsí seo atá meaisínithe go lamháltais fo-mhicrón agus ansin lapáilte de láimh nó deilte le diamant go dtí an geoiméadracht deiridh.
3. Cuiceanna Leictreastatacha (ESC)
Coinníonn chucks leictreastatacha na sliseáin go hiomlán cothrom le linn litagrafaíochta, greanadh agus taiscthe. Caithfear an dromchla tréleictreach (de ghnáth Al2O3 nó ceirmeach AlN spraeáilte ar bhonn alúmanaim nó moluibdín) a mheaisíniú agus a snasú go dtí go mbeidh cothromaíocht bhuaic-go-ghleann < 1 µm trasna 300 mm. Éilíonn an bonn féin bealaí fuaraithe inmheánacha casta atá meaisínithe ag muilleoireacht CNC ardluais nó EDM sreinge.
4. Cithfholcadáin Dáilte Gáis agus Fáinní Imeall
Úsáideann uirlisí greanta agus taiscthe plasma cinn cithfholcadáin le na mílte poll atá méide agus suite go beacht (trastomhas 50–500 µm) chun gáis phróisis aonfhoirmeacha a sheachadadh. De ghnáth, déantar iad seo a mheaisíniú as alúmanam, sileacan, nó grianchloch ard-íonachta, agus is minic a úsáidtear ionaid meaisínithe CNC il-ais le cumais druileála ultrasonaic nó léasair-chuidithe.
5. Comhpháirteanna Optúla agus Gléasanna
Oibríonn litagrafaíocht EUV ag tonnfhad 13.5 nm agus úsáideann sí scátháin ilchisealacha moluibdín-sileacain fhrithchaiteacha. Déantar na foshraitheanna scátháin (gloine Zerodur nó ULE de ghnáth) a mheaisíniú go garbh ar dtús trí chasadh diamant aonphointe nó meilt beachtais, agus ansin snasaítear iad go hoptúil. Ní mór na gléasanna cinéimiteacha a shealbhaíonn na scátháin seo a mheaisíniú le CNC ó Invar nó Super Invar chun saobhadh teirmeach a íoslaghdú.
Ábhair a Úsáidtear i Meaisínithe CNC Leathsheoltóra
1. Cóimhiotail Alúmanaim
Is é 6061-T6 an ceann is fearr fós mar gheall ar a chumas meaisínithe den scoth, a neart réasúnta, agus a chostas íseal. Chun dolúbthacht níos airde agus leathnú teirmeach níos ísle a fháil, úsáidtear cóimhiotail alúmanaim dhílseánaigh ar nós Al 6061-RAM2, RSA-6061, nó Cearun™ (alúmanam athneartaithe le ceirmeach).
2. Cóimhiotail Íseal-Leathnaithe
Cuireann Invar 36 agus Super Invar (le cóbalt breise) leathnú teirmeach < 1 ppm/°C ar fáil agus tá siad ríthábhachtach do chomhpháirteanna stáitse reticle agus vaiféir.
3. Criadóireacht agus Gloiní Teicniúla
- Carbaíd sileacain ionráitithe le sileacan (SiSiC)
- Carbaíd sileacain imoibritheach-nasctha (RBSC)
- Gloine leathnaithe thar a bheith íseal Zerodur® (Schott) agus ULE® (Corning)
- Níotráit alúmanaim (AlN) agus alúmana (Al2O3) le haghaidh chucks leictreastatacha
Éilíonn na hábhair bhriste seo próisis CNC speisialaithe: meaisínithe ultrasonaic, meilt réime insínte, nó meaisínithe le cúnamh léasair.
4. Miotail Ard-Íonachta
Úsáidtear moluibdín, tungstan, agus tíotáiniam le haghaidh comhpháirteanna atá nochtaithe do phlasmaí fluairín. Éilíonn na miotail theasfhulangacha seo meaisíní CNC righne, ard-chasmhóiminte agus uirlisí diamant polachriostalach (PCD).
Comhpháirteanna Leathsheoltóra Tipiciúla Déanta ag Meaisínithe CNC
Comhpháirt | Ábhar tipiciúla | Príomhriachtanais | Samplaí Caoinfhulaingthe |
|---|---|---|---|
Sleamhnáin Wafer (ESC) | Alúmana, AlN | Cothrom < 3 µm, Ra < 0.05 µm, sceitheadh héiliam < 10⁻⁹ | Suíomh an phoill ±2 µm |
Ceann cithfholcadáin / Plátaí gáis | Al anóidithe, 316L SS | 5000–20,000 poll Ø0.3–1.0 mm, suíomh ±5 µm | < Ra 0.4 µm |
Ballaí seomra folúis | 6061-T6, 5083 Al | Táthaithe + meaisínithe, sceitheadh héiliam daingean | Cothromas < 50 µm thar 2 m |
Tionóil leictreoid | Copar OFHC, moluibdín | Seoltacht RF, bealaí fuaraithe | Suíomh cainéil ±10 µm |
Tionóil bioráin ardaitheora | Cruach dhosmálta brataithe le ceirmeach | Friotaíocht chaitheamh, rialú cáithníní | Comhchruinniú < 5 µm |
Frámaí struchtúracha (EUV) | Invar 36, cóimhiotail íseal-CTE | Cobhsaíocht theirmeach < 50 ppb/K | Cruinneas suímh ±15 µm |
Fáinní fócais, fáinní imeall | Sileacan, grianchloch, SiC | Friotaíocht creimeadh plasma | Caoinfhulaingt próifíle ±10 µm |
Tá na codanna seo idir chúpla milliméadar agus os cionn 2 mhéadar i méid agus idir ghraim agus roinnt tonna i meáchan.
Leibhéil Beachtais agus Meitreolaíocht
Lamháltais tipiciúla i meaisínithe trealaimh leathsheoltóra:
Gné | Caoinfhulaingt tipiciúla | Modh Tomhais |
|---|---|---|
Cothrom (dromchla 300 mm) | 0.5–2 µm PV | Intreamhéadracht (Fizeau, Zygo) |
Comhthreomhaireacht | 1–5 µm | Leibhéil leictreonacha + inteirféaraiméadracht |
Suíomh an phoill (na mílte poll) | ±2–5 µm | Comhordanáid meaisín tomhais (CMM) |
críochnaigh dromchla | Ra 0.025–0.1 µm | Intréimhiméadracht solais bháin |
Suíomh an chainéil fuaraithe | ±10 µm | scanadh CT nó tástáil ultrafhuaime |
Is gnách anois i siopaí móra cruinneas meicniúil “fob-mhicron” nó fiú “100 nanaiméadar” a bhaint amach ar chomhpháirteanna a bhfuil na céadta cileagram meáchain iontu.
Éabhlóid Uirlisí Meaisín CNC le haghaidh Obair Leathsheoltóra
1. Ré na 1990idí–2000idí
Muilte droichid mhóra (Waldrich Coburg, Parpas, FPT) le scálaí Heidenhain agus aiseolas scála gloine a bhí i réim. Chuir imthacaí hidreastatacha agus cithfholcadáin ola cobhsaíocht theirmeach ar fáil.
2. Na 2010idí: Céimeanna Aeriompartha agus Ardaithe Maighnéadaigh
Thug cuideachtaí ar nós Aerotech, Physik Instrumente (PI), agus ALIO Industries isteach céimeanna mótair líneacha aeriompartha le hinathdhéantacht < 10 nm. Ba iad seo cnámh droma na n-ionad meaisínithe beachtais den dara glúin.
3. An Staid Reatha (2020–2025)
- Meaisíní deilte diamant aonphointe Moore Nanotechnology agus Precitech le haghaidh foshraitheanna scátháin EUV
- Ionaid mhicrea-mheaisínithe Kern Microtechnik agus Yasda ag baint amach cruinneas foirme 100 nm
- Sraith ULTRASONIC DMG MORI le haghaidh criadóireachta
- Fanuc ROBONANO α-NMiA: rún cláir 0.1 nm agus rún suímh 1 nm
- Siopaí teochtrialaithe a choinnítear ag ±0.01 °C le bunchlocha inslithe creatha gníomhacha
Dúshláin agus Roghnú Ábhar
1. Cóimhiotail Alúmanam
Is capaill oibre iad 6061-T6 agus 5083 mar gheall ar a n-inmheaisínitheacht agus a bhfreagairt anóidithe den scoth. Cruthaíonn anóidiú crua (Cineál III) ciseal Al₂O₃ 25–50 µm a sheasann in aghaidh ionsaí plasma. Mar sin féin, is féidir le micreaphoir san anóidiú cáithníní a ghabháil — úsáideann siopaí nua-aimseartha séalaithe ilchéime agus bratuithe dílseánaigh (m.sh., Spraeáil Stua Sreang Dúbailte Al₂O₃ nó spraeáil plasma Y₂O₃).
2. Cruach Dhosmálta
Roghnaítear 316L mar gheall ar a fhriotaíocht creimeadh i gcoinne plasma NF₃ agus Cl₂. Tá sé éigeantach leictrea-snasú go Ra < 0.2 µm chun greamaitheacht cáithníní a laghdú.
3. Criadóireacht
Déantar alúmana (99.8%), níotráit alúmanaim, agus cairbíd sileacain a mheaisíniú sa stát “glas” ag baint úsáide as uirlisí diamant, agus ansin déantar iad a shintéiriú. Laghdaíonn na lamháltais tar éis shintéirithe 18–22%, rud a éilíonn samhlacha sofaisticiúla cúitimh crapadh.
4. Cóimhiotail Íseal-CTE
Úsáidtear Invar 36 agus Super Invar i gcéimeanna litagrafaíochta EUV agus DUV ina bhfuil cobhsaíocht nanaiméadar ag teastáil thar luascáin teochta 10–40 °C.
5. Miotail Teasfhulangacha
Déantar moluibdín agus tungstan a mheaisíniú le haghaidh leictreoidí ardteochta. Tá na hábhair seo thar a bheith scríobach agus teastaíonn meaisíní dochta le fuaraitheoir ardbhrú (70–100 bar) uathu.
Próisis Meaisínithe Criticiúla
1. Meaisínithe Ardluais (HSM) Alúmanaim
Sluasanna bioráin 20,000–42,000 rpm, uirlisí diamant PCD cothromaithe nó criostail aonair, fuarú ceo, agus halgartaim réamhamhairc a cheadaíonn bailchríocha scáthánacha (Ra < 4 nm) in aon phas amháin.
2. Meaisínithe Ceirmeacha le Córas Duchtaithe
Trí dhoimhneacht an ghearrtha a choinneáil faoi bhun tairseach chriticiúil (de ghnáth < 1 µm), is féidir ábhair bhreátha a mheaisíniú i mód insínte ag baint úsáide as uirlisí diamant thar a bheith géar, rud a tháirgeann dromchlaí den cháilíocht optúil gan scoilteadh.
3. Casadh Diamond Aon-Pointe (SPDT)
Riachtanach do foshraitheanna scátháin EUV neamhsféarach. Oibríonn meaisíní i dtimpeallachtaí ceo ola nó folúis le haiseolas fo-nanaiméadar.
6.4 EDM Sreinge agus EDM Doirteal
Úsáidtear é le haghaidh bealaí fuaraithe domhain agus gnéithe casta in ábhair chruaite. Baintear bailchríocha dromchla < Ra 0.1 µm amach ag gineadóirí nua-aimseartha i ngearradh bearrtha amháin.
5. Déantúsaíocht Hibrideach Breiseánach + Dealaitheach
Treocht atá ag teacht chun cinn: cruthanna gar-líonra Invar nó tíotáiniam a phriontáil i 3T, agus ansin meaisín críochnaithe a dhéanamh ar an ardán céanna (m.sh., hibridí Hermle MPA nó Lasertec DED).
Riachtanais CNC Beachtais agus Ultra-Bheachtais
Éilíonn páirteanna leathsheoltóra go rialta:
- Cruinneas suímh: ±2–5 µm thar thaisteal 500–2000 mm
- In-athdhéantacht: < 1 µm
- Críochnú dromchla: Ra 0.025–0.1 µm ar dhromchlaí atá os comhair plasma
- Cothromas: 1–3 µm thar Ø300–450 mm
- Comhthreomhaireacht/ingearach: < 3 µm
- Lárionaid meaisínithe 5-ais nó fiú 8-ais (m.sh., Yasda, Makino, DMG MORI, Kern, Liechti)
- Fearsaidí hidreastatacha nó aeriompartha ag rith ag 20,000–60,000 rpm
- Córais chobhsaíochta teirmeacha a choinníonn teocht an mheaisín laistigh de ±0.1 °C
- Socraitheoirí uirlisí léasair agus braiteoireachta ar an meaisín le taifeach 0.1 µm
- Bunáite eibhir nó coincréite polaiméire le haonrú creatha gníomhach
Lorem ipsum dolor ag suí, ag dul i ngleic le mionlach. Bain úsáid as an eolas, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo.
Ardteicnící Meaisínithe
1. Meaisínithe Ardluais (HSM) le huirlisí beaga
D’fhéadfadh 15,000 poll de Ø0.5 mm a bheith druileáilte ag 40,000 rpm le muilte micrea-deireadh 0.1 mm i gcinn cithfholcadáin. Cuireann druileáil phiocach le fuaraitheoir 100 bar tríd an uirlis cosc ar ath-tháthú sceallóga.
2. Meaisínithe Ultrasonach-Cuidithe
I gcás criadóireachta agus grianchloiche, laghdaíonn creathadh ultrasonaic 20–40 kHz fórsaí gearrtha faoi 30–70%, rud a fheabhsaíonn bailchríoch dromchla agus saolré uirlisí go suntasach.
3. Casadh Diamond Aon-Pointe (SPDT)
Úsáidtear é le haghaidh lionsaí infridhearga agus roinnt leictreoidí copair. Is gnách go mbíonn bailchríocha dromchla síos go Ra 3–5 nm ann.
4. Muilleoireacht Chomhuaineach 5-Ais ar Gheoiméadrachtaí Casta
Déantar cainéil fuaraithe inmheánacha le trastomhas 1 mm agus cóimheas gné 20:1 a mheaisíniú ag baint úsáide as uirlisí barrchaolaithe fad-sroichte agus cosáin uirlisí trochoidacha.
5. Próisis Bhreiseacha-Dealaitheacha Hibrideacha
Déantar roinnt comhpháirteanna nua (m.sh., cinn cithfholcadáin fuaraithe comhréireach) a phriontáil 3T in Inconel nó i gcopar trí DMLS/LaserCusing, agus ansin déantar iad a mheaisíniú go críochnaithe ar an meaisín céanna go ±10 µm.
Méadreolaíocht agus Dearbhú Cáilíochta
Déantar an cigireacht is déine in aon tionscal ar chodanna leathsheoltóra:
- Meaisíní CMM ultra-chruinne Zeiss Prismo nó Leitz PMM-C le héiginnteacht ±0.3 µm
- Interferiméadair aistrithe céime Zygo GPI nó 4D Technology le haghaidh cothromaíochta
- Idirfheiriméadair solais bháin Bruker do dhromchlaí Ra < 50 nm
- Tástáil sceite mais-speictriméadar héiliam go 10⁻¹⁰ mbar·L/s
- Anailís Gháis Iarmharaigh (RGA) tar éis bácála ag 150 °C chun a dheimhniú go bhfuil gásáil eisghátaithe < 10⁻⁹ Torr·L/s/cm²
- Comhaireamh cáithníní trí chuntar cáithníní leachtacha (LPC) nó scanóir cáithníní léasair tar éis glanadh ultrasonaic
Meaisínithe Glanseomra agus Iarphróiseáil
Ós rud é gur féidir le cáithníní >30 nm trasraitheoir 3 nm a mharú, tá seomraí glana ISO 5 (Rang 100) nó ISO 4 suiteáilte ag go leor siopaí ard-deireadh díreach timpeall a meaisíní beachtais.
I measc na samplaí:
- Bullen Ultrasonics (SAM)
- Saoráid seomra glan CNC Tyrolit (An Ostair)
- Seomra glan meaisínithe beachtais Utsunomiya de chuid Canon (an tSeapáin)
- Uisce DI ardbhrú + corraíl mheigashonach
- Glanadh ceimiceach ilchéime (SC-1, SC-2, piranha)
- Triomadóir gruaige N₂ thar a bheith íon
- Bácáil i bhfolús 150–200 °C
- Mála dúbailte i málaí atá glanta le N₂
Cás-Staidéar: Meaisíniú ar Phláta Bonn Céime Wafer EUV
Léiríonn pláta bonn stáitse tipiciúil de sceallóga EUV 450 mm an chastacht:
- Ábhar: Ceirmeach SiSiC, 900 × 800 × 100 mm
- Riachtanas cothromaíochta: < 1 µm PV trasna an dromchla iomláin
- 120 cainéal fuaraithe leabaithe, trastomhas 3 mm, suíomh ±15 µm
- 600 iontráil snáithithe (M4 héiliam-éadrom)
- Dromchla deiridh: lapáilte go Ra < 50 nm
- Meaisínithe glas ar bhán imoibrithe-nasctha
- Insreabhadh sileacain agus cóireáil teasa
- Meilt gharbh ar ionad meaisínithe 5-ais
- Meilt bailchríoch dúchtach le doimhneacht gearrtha 1 µm
- Críochnú maighnéadreolaíoch (MRF) le haghaidh ceartú foirme deiridh
- Méadreolaíocht ar inteirféariméadar cróluas Zygo VeriFire MST 600 mm
- Lapadh láimhe deiridh más gá
Dúshláin de réir mar a bhogann an tionscal chuig nóid faoi bhun 2 nm
1. Cobhsaíocht Leibhéal Angstrom
Beidh cobhsaíocht suíomh stáitse sa raon 50–100 piciméadar ag teastáil ó uirlisí EUV ard-NA amach anseo. Cuireann sé seo comhpháirteanna meicniúla i dtreo teorainneacha ábhartha bunúsacha.
2. Aistriú 450 mm
Éilíonn vaiféir níos mó comhpháirteanna meaisínithe níos mó fós leis an gcruinneas coibhneasta céanna - méadú easpónantúil ar dheacracht.
3. Ábhair Nua
Beidh paraidímí meaisínithe go hiomlán nua ag teastáil le haghaidh ábhair atá bunaithe ar charbón (bratuithe graiféine, carbón cosúil le diamant), comhchodanna maitrís miotail, agus struchtúir fhótónacha.
4. Inbhuanaitheacht
Tá brú ar an tionscal chun tomhaltas fuinnimh, uisce agus ceimiceán a laghdú. Tá siopaí meaisínithe ag glacadh le bealadh íosmhéid cainníochta (MQL), fuarú crióigineach, agus athchúrsáil sceallóga alúmanaim.
Conclúid
Cé go bhfuil an aird i nuacht leathsheoltóra fós ar thonnfhad litagrafaíochta agus dlús trasraitheora, is é fírinne an scéil nach féidir aon sliseanna ceannródaíoch a mhonarú gan arm de chomhpháirteanna meicniúla thar a bheith beachta a tháirgtear trí mheaisínithe CNC. Ó sheomraí folúis iltonna cothroma go micrón go céimeanna vaiféir ceirmeacha atá cobhsaí go cúpla adamh, oibríonn meaisínithe CNC ag an teorainn iomlán maidir leis an méid is féidir go meicniúil.
De réir mar a bhíonn an tionscal ag dul i dtreo gnéithe scála angstrom agus sceallóga 450 mm, ní dhéanfaidh na héilimh ar mheaisínithe beachtais ach dul i méid. Fanfaidh siopaí ar féidir leo cruinneas fo-mhicróm a sheachadadh ar chodanna scála méadair, in ábhair choimhthíocha, faoi dhálaí seomra glan, ina gcomhpháirtithe fíor-riachtanacha ag ASML, Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron, agus na déantóirí sceallóga féin.
Sa deireadh, ní scéal fisice agus ceimice amháin atá i nDlí cáiliúil Moore—is bua innealtóireachta meicniúla é freisin a cuireadh i gcrích comhpháirt amháin meaisínithe go foirfe ag an am.